一种硅微粉的处理方法和处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种硅微粉的处理方法和处理装置，处理方法包括以下步骤：在硅材料加工过程中，通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液；收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态。根据本发明专利技术实施例的硅微粉的处理方法，在硅材料加工过程中，通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液，收集处理液并使处理液处于流动状态，超纯水中不含有离子，不易使得硅微粉出现沉淀，使处理液处于流动状态也能够使得硅微粉不易沉聚，使得硅微粉处于分散状态，保持处理液的流动性，便于后续处理。

A Treatment Method and Processing Device for Silicon Powder

【技术实现步骤摘要】
一种硅微粉的处理方法和处理装置
本专利技术涉及硅材料加工领域，特别涉及一种硅微粉的处理方法和处理装置。
技术介绍
硅材料加工(例如对硅晶片进行切断、研磨)后的硅微粉的表面迅速被氧化而变为SiO2。在硅晶片的加工工艺中，采用线锯对硅晶锭进行切断，进行镜面研磨，采用胶体硅进行研磨，循环化进行，不是直接进行排液，但是，在晶片的磨边、双端面磨削、成型工序中，一边使用水进行引流，一边进行研磨加工，然后将处理后的排水与其他排水汇合。目前，这些排水与其他工序中使用的排水(例如蚀刻后使用的清洗排水、冷暖气设备的排水、各装置的冷却水排水、气体处理涤气器排液等)汇流混合而排放到最终排液处理槽中，由于其他排水中含有很多离子，硅微粉、SiO2与其他排水混合后会在离子的作用下迅速沉淀化，形成硬的块状沉积物，致使流动性极差，该块状物蔓延到水路的底部，除去、清扫需要极大的劳力和时间消耗。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种硅微粉的处理方法和处理装置，用以解决硅微粉处理过程中易于出现沉淀化，流动性差，不易处理的问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：第一方面，根据本专利技术实施例的硅微粉的处理方法，包括以下步骤：在硅材料加工过程中，通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液；收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态。进一步地，所述收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态，包括：通过储液罐收集所述处理液，并通过与储液罐的连接的循环泵使所述处理液处于流动状态。进一步地，在收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态之后，还包括：将所述处理液与含离子溶液混合，得到混合液；静置所述混合液形成上清液和沉淀层。进一步地，将所述处理液与含离子溶液混合，得到混合液，包括：所述处理液与含离子溶液混合时通过搅拌混合。进一步地，静置所述混合液形成上清液和沉淀层之后，还包括：将所述上清液和所述沉淀层分离。第二方面，根据本专利技术实施例的硅微粉的处理装置，包括：储液罐，用于收集含硅微粉的处理液，所述储液罐上设有进水口和出水口；出水管和进水管，所述出水管的一端与所述储液罐的出水口连通，所述进水管的一端与所述储液罐的进水口连通；循环泵，所述循环泵的进口与所述出水管的另一端连通，所述循环泵的出口与所述进水管的另一端连通。进一步地，所述出水口位于所述储液罐的底部，所述进水口位于所述储液罐的顶部。进一步地，所述处理装置还包括：排水槽，用于收集含离子溶液；连接管，所述连接管的一端与所述循环泵的出口连通，所述连接管的另一端与所述排水槽连通。进一步地，所述进水管和所述连接管上分别设有调节阀。进一步地，所述处理装置还包括：搅拌装置，用于搅拌所述排水槽中的溶液。本专利技术的上述技术方案的有益效果如下：根据本专利技术实施例的硅微粉的处理方法，在硅材料加工过程中，通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液，收集处理液并使处理液处于流动状态，超纯水中不含有离子，不易使得硅微粉出现沉淀，使处理液处于流动状态也能够使得硅微粉不易沉聚，使得硅微粉处于分散状态，保持处理液的流动性，便于后续处理。附图说明图1为本专利技术实施例的处理装置的一个连接示意图。附图标记储液罐10；出水管11；进水管12；循环泵13；调节阀14；排水槽20；连接管21；搅拌装置30。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。下面首先具体描述根据本专利技术实施例的硅微粉的处理方法。根据本专利技术实施例的硅微粉的处理方法，包括以下步骤：在硅材料加工过程中，通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液；收集处理液并使处理液处于流动状态。也就是说，在硅材料加工过程中，通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉，得到含硅微粉的处理液，在超纯水中离子极少，SiO2微粉是胶体状物质，表面带负电，在每个粒子的表面，水分子极化的-H+水合，水分子包围粒子的全体结构，H2O配位于微粉表面保护其不形成胶体状态，各微粉彼此通过＝O－相互排斥，能够形成稳定的分散状态，不易使得硅微粉出现沉淀。收集处理液并使处理液处于流动状态，使处理液处于流动状态也能够使得硅微粉不易沉聚，使得硅微粉处于分散状态。比如，晶片的加工研磨中所使用的金刚石磨轮或相同原料的研磨材料，使用超纯水进行加工，在300mm的晶片加工工艺中，实际加工所使用的超纯水的量可以为每片220升，超纯水处理后的硅微粉后不将该排水与其他的排水汇集，避免其他排水溶液中离子与硅微粉作用形成沉淀，而是单独进行处理，可以将排水处于流动状态，使得排水具有良好的流动性，基本消除了在流路中堆积。在本专利技术的一些实施例中，所述收集处理液并使处理液处于流动状态，可以包括：通过储液罐收集处理液，并通过与储液罐的连接的循环泵使处理液处于流动状态，处理液处于流动状态也能够使得硅微粉不易沉聚，使得硅微粉处于分散状态。在本专利技术的另一些实施例中，在收集处理液并使处理液处于流动状态之后，还包括：将处理液与含离子溶液混合，得到混合液；静置混合液形成上清液和沉淀层。将处理液与含离子溶液混合之后得到混合液，处理液中的硅微粉与离子作用形成沉淀，通过静置处理后使得沉淀沉聚于混合液的底部，上层形成上清液，便于上清液与沉淀层的分离。可选地，将处理液与含离子溶液混合得到混合液包括：处理液与含离子溶液混合时通过搅拌混合，比如通过搅拌器进行搅拌，有利于促进混合。根据一些实施例，静置混合液形成上清液和沉淀层之后，还包括：将上清液和沉淀层分离，可以将上清液排出后直接排放至环境中，也可以循环利用，沉淀层可以定期分离，比如，每年一次，利用重机械车辆、铲车装料铲来收集硅微粉，作为产业废弃物进行处理。本专利技术实施例还提供一种硅微粉的处理装置，如图1所示，处理装置包括：储液罐10，用于收集含硅微粉的处理液，储液罐10上设有进水口和出水口；出水管11和进水管12，出水管11的一端与储液罐10的出水口连通，进水管12的一端与储液罐10的进水口连通；循环泵13，循环泵13的进口与出水管11的另一端连通，循环泵13的出口与进水管12的另一端连通。也就是说，处理装置主要由储液罐10、出水管11、进水管12和循环泵13构成，其中，储液罐10用于收集含硅微粉的处理液，储液罐10上可以设有进水口和出水口，出水口的位置可以低于进水口的位置，出水管11的一端可以与储液罐10的出水口连通，进水管12的一端可以与储液罐10的进水口连通，循环泵13的进口与出水管11的另一端连通，循环泵13的出口与进水管12的另一端连通，通过循环泵13来使得储液罐10中的处理液进行循环以保持流动状态，使得处理液不易沉淀。在本专利技术的一些实施例中，出水口可以位于储液罐10的底部，进水口可以位于储液罐10的顶部，便于储液罐10中的处理液循环流动。在本专利技术的另一些实施例中，处理装置还可以包括排水槽20和连接管21，排水槽20可以用于收集含离子溶液，排水槽20容量大小可以合理选择，比如可以为20m3，排水槽20可以为纤维增强本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅微粉的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：在硅材料加工过程中，通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液；收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态。

【技术特征摘要】
1.一种硅微粉的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：在硅材料加工过程中，通过超纯水处理硅材料加工过程中产生的硅微粉得到含硅微粉的处理液；收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态。2.根据权利要求1所述的硅微粉的处理方法，其特征在于，所述收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态，包括：通过储液罐收集所述处理液，并通过与储液罐的连接的循环泵使所述处理液处于流动状态。3.根据权利要求1所述的硅微粉的处理方法，其特征在于，在收集所述处理液并使所述处理液处于流动状态之后，还包括：将所述处理液与含离子溶液混合，得到混合液；静置所述混合液形成上清液和沉淀层。4.根据权利要求3所述的硅微粉的处理方法，其特征在于，将所述处理液与含离子溶液混合，得到混合液，包括：所述处理液与含离子溶液混合时通过搅拌混合。5.根据权利要求3所述的硅微粉的处理方法，其特征在于，静置所述混合液形成上清液和沉淀层之后，还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫尾秀一，郑秉胄，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61