【技术实现步骤摘要】
一种半导体用洁净管的生产工艺
本专利技术涉及不锈钢管
,特别是一种半导体用洁净管的生产工艺。
技术介绍
无缝钢管是一种具有中空截面、周边没有接缝的长条钢材,无缝钢管具有中空截面,可用作输送流体的管道,如输送石油、天然气、煤气、水及某些固体物料的管道等,高洁净度的不锈钢管常被用于半导体制备设备中,而国内能生产半导体用洁净管的厂商十分有限,只能依靠国外进口,因此有必要提出一种半导体用洁净管的生产工艺。
技术实现思路
本专利技术的目的就是解决现有技术中的问题,提出一种半导体用洁净管的生产工艺,本专利技术设计合理,工艺简单,可以生产出符合标准的半导体用洁净管,提升国产半导体用洁净管在国内市场的占比额度。为实现上述目的,本专利技术提出了一种半导体用洁净管的生产工艺,包括以下步骤:A)选择特定的管坯料,并对管坯料进行成分分析;B)通过精轧、油润滑游动芯棒拔制、固溶光亮热处理、内外表面深度清洗等工艺对管坯料进行加工,得到相应尺寸的管件;C)对管件进行电化学抛光及半导体级洁净处理;D)对洁净处理后的管件进行性能检验;E)将通过检验的管件打包出厂。作为优选,所述的步骤A)中的管坯料为316L无缝不锈钢管。作为优选,所述的步骤A)中的成分分析为对C、Si、Mn、P、S、Ni、Cr、Mo含量的分析,所述C的含量要低于0.03%,所述Si的含量要低于1%,所述Mn的含量要低于2%,所述P的含量要低于0.04%,所述S的含量要低于0.01%,所述Ni的含量为8%-11%,所述Cr的含量为16%-18%,所述Mo的含量为2%-3%。作为优选,所述的步骤B)中的对管坯料的 ...
【技术保护点】
1.一种半导体用洁净管的生产工艺,其特征在于:包括以下步骤:A)选择特定的管坯料,并对管坯料进行成分分析;B)通过精轧、油润滑游动芯棒拔制、固溶光亮热处理、内外表面深度清洗等工艺对管坯料进行加工,得到相应尺寸的管件;C)对管件进行电化学抛光及半导体级洁净处理;D)对洁净处理后的管件进行性能检验;E)将通过检验的管件打包出厂。
【技术特征摘要】
1.一种半导体用洁净管的生产工艺,其特征在于:包括以下步骤:A)选择特定的管坯料,并对管坯料进行成分分析;B)通过精轧、油润滑游动芯棒拔制、固溶光亮热处理、内外表面深度清洗等工艺对管坯料进行加工,得到相应尺寸的管件;C)对管件进行电化学抛光及半导体级洁净处理;D)对洁净处理后的管件进行性能检验;E)将通过检验的管件打包出厂。2.如权利要求1所述的一种半导体用洁净管的生产工艺,其特征在于:所述的步骤A)中的管坯料为316L无缝不锈钢管。3.如权利要求1所述的一种半导体用洁净管的生产工艺,其特征在于:所述的步骤A)中的成分分析为对C、Si、Mn、P、S、Ni、Cr、Mo含量的分析,所述C的含量要低于0.03%,所述Si的含量要低于1%,所述Mn的含量要低于2%,所述P的含量要低于0.04%,所述S的含量要低于0.01%,所述Ni的含量为8%-11%,所述Cr的含量为16%-18%,所述Mo的含量为2%-3%。4.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴月琴,徐姚松,徐俞生,李文豪,
申请(专利权)人:浙江中达特钢股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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