【技术实现步骤摘要】
一种银胶测量设备及测量方法
本专利技术涉及测量设备及测量方法，具体涉及一种银胶测量设备及测量方法。
技术介绍
目前LED固晶机的效率相当高，当出现工艺不良时候若没有监控到，将同样出现批量性不良。固晶后的晶粒高度、银胶直径、银胶高度为监控产品固晶工艺状况的主要数值；目前LED固晶后的检查方法，实际可以用的有三种：1、使用双目放大镜观测：使用双目放大镜检测时，将产品倾斜一定角度，目视确认银胶高度占整体高度的百分比，此方法只能大概目视确认银胶高度和晶粒之间的高度差异，银胶高度不能量化；银胶直径和晶粒高度则完全无法判定是否符合规格要求；2、使用工具显微镜量测：2.1使用2.5D显微镜，对焦银胶底部平面，使用几何测量工具，量测银胶的直径；2.2对焦银胶底部平面，再上升显微镜Z轴，直至晶粒顶部平面在视野中清晰，得出Z轴的高度差，以此差值Δz1算为晶粒的高度差，因为清晰度为人感官差异，且光学透镜焦平面有效区间有一定距离，所以Δz这个值比较接近实际值，但是存在一定的差异；2.3同2.2，先对焦银胶底部平面，再上升显微镜主轴，直至银胶和晶粒侧面的相贯线在视野中清晰，得出Z轴的高度差...
【技术保护点】
1.一种银胶测量设备，其特征在于，包括底座以及均设置在其上的上下膜机构、移载作业机构和测量机构，两个所述上下膜机构分别位于移载作业机构的两端，测量机构横跨在移载作业机构的上方；所述测量机构包括相对于晶粒均具有三维自由度的用于粗略识别和定位晶粒的取像模块一、用于精确识别和定位晶粒的取像模块二以及用于测量银胶及芯片的直径和厚度的测量模块；所述上下膜机构用于投放及排出卡匣，并为移载作业机构提供或退出膜片，所述移载作业机构能够固定及移载膜片，所述测量机构能够测量固定在移载作业机构上的膜片上的银胶及芯片的直径和厚度。
【技术特征摘要】
1.一种银胶测量设备，其特征在于，包括底座以及均设置在其上的上下膜机构、移载作业机构和测量机构，两个所述上下膜机构分别位于移载作业机构的两端，测量机构横跨在移载作业机构的上方；所述测量机构包括相对于晶粒均具有三维自由度的用于粗略识别和定位晶粒的取像模块一、用于精确识别和定位晶粒的取像模块二以及用于测量银胶及芯片的直径和厚度的测量模块；所述上下膜机构用于投放及排出卡匣，并为移载作业机构提供或退出膜片，所述移载作业机构能够固定及移载膜片，所述测量机构能够测量固定在移载作业机构上的膜片上的银胶及芯片的直径和厚度。2.如权利要求1所述的银胶测量设备，其特征在于，所述取像模块一为大视野的CCD，所述取像模块二为小视野、高分辨率的CCD，所述测量模块为光谱共聚焦测试模块。3.如权利要求1所述的银胶测量设备，其特征在于，所述测量机构包括横向移动单元和定位单元，所述横向移动单元包括横跨设置在移载作业机构上方的横向驱动源，所述横向驱动源的自由端设置有横向支架，所述定位单元包括设置在横向支架上的聚焦驱动源，所述聚焦驱动源的自由端设置有聚焦支架，所述取像模块一、取像模块二和测量模块均沿竖直方向设置在聚焦支架上。4.如权利要求3所述的银胶测量设备，其特征在于，所述横向支架上沿竖直方向设置有传感器滑槽，所述传感器滑槽上设置有聚焦传感器，所述聚焦支架上设置有与聚焦传感器相配合的聚焦感应片。5.如权利要求1所述的银胶测量设备，其特征在于，所述上下膜机构包括卡匣承载单元、卡匣升降单元、退料单元和上下膜单元；所述卡匣承载单元包括设置在底座上的卡匣架，所述卡匣架上设置有卡匣板，所述卡匣板的底部设置有供卡匣在水平方向上通过的开口；所述卡匣升降单元包括设置在底座上的升降驱动源，所述升降驱动源的自由端设置有升降平台，所述升降平台位于卡匣架和卡匣板之间；所述退料单元包括均设置在底座上的退料平台、悬空驱动源和退料驱动源，所述退料平台上开设有用于让升降平台通过并截留卡匣的退料开口，所述悬空驱动源和退料驱动均的自由端分别设置有位于卡匣板的开口的上方和卡匣板的开口处的垫板；所述上下膜单元包括设置在底座上的推杆驱动源，所述推杆驱动源的自由端设置有用于上膜或下膜的推杆。6.如权利要求5所述的银胶测量设备，其特征在于，所述卡匣架上设置有延伸板，所述延伸板上滑动设置有滑块，所述卡匣板设置在滑块上，所述滑块上设置有紧固件，所述推杆驱动源的自由端设置有推杆支板，所述推杆支...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱小和，
申请(专利权)人：苏州隆格尔精密自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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