测量方法技术

本发明专利技术提供一种测量方法，包括：向熔盐电解槽中加入熔融盐；将测量棒伸入熔盐电解槽；定义测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A0；测量棒上附着的熔融盐高度为熔融盐液面高度；加入电解固体物；将测量棒伸入熔盐电解槽；定义测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A1；基于A0与A1的差值以得到熔盐电解槽内电解固体物的高度。本发明专利技术的有益效果在于：只需要伸入测量棒即可得知熔融盐液面高度和电解固体物高度，相对于现有技术更加简便，且不会像现有技术一样受到熔盐电解装置本身复杂结构的影响，测量结果更加准确；可以减少测量棒遭到腐蚀的程度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种测量方法。
技术介绍
熔盐电解是一种以熔融状态的盐为介质，利用金属还原过程中的电势差对粗金属或合金进行电化学提纯或分离的工艺。在熔盐电解工艺中，电极棒是必需的部件。其中，电极棒的一端用于与外加电源连接；电极棒的另一端需要在电解开始之前置入电解槽中的熔融电解介质内。在电解过程中，电极棒伸入至电解槽中的一端逐渐聚集固态电解产物。以制备高纯钛金属为例，钛离子在位于熔融电解介质中的电极棒附近得到电子，变成钛金属并附着在电极棒上。在电解结束后，附着固态电解产物的电极棒需要被提起并除下固态电解产物。因此，电极棒(阴极或阳极)是熔盐电解中的关键部件，电极棒本身的尺寸，例如电极棒的长度很容易影响整个熔盐电解过程，一旦电极棒的长度不符合要求，将会影响熔盐电解的进行，或者影响电解产物的生成质量。影响电极棒的主要参数为熔盐电解过程中熔融盐液面高度和电解固体物(参与电解的固体粗料)高度。在现有技术中，一般在熔融盐液面上放置一个浮子，然后通过超声波定位浮子的位置以测算熔融盐液面高度；电解固体物高度也用超声波定位来测算。但是，在实际应用中，熔盐电解工艺所采用的熔盐电解设备结构比较复杂，在装有熔融盐液面以及电解固体物的熔盐电解槽还设有例如热设备、保温层的装置，复杂的结构会导致超声波的传播受到干扰，进而影响测量精度，这会导致后续对电极棒尺寸的选择产生影响，电极棒的尺寸不符合要求将影响电解工艺的进行，进而影响电解产物的形成质量。另外，超声波定位所要用到的设备比较复杂，在实际的复杂的工作环境中不仅操作不变，还容易损坏，这同样可能对电解产物的形成质量造成影响。因此，如何较好的测量熔盐电解装置内熔融盐液面高度和电解固体物高度，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种测量方法，以较好的测量熔盐电解装置内熔融盐液面高度和电解固体物高度。为解决上述问题，本专利技术提供一种测量方法，用于测量熔盐电解装置内熔融盐液面高度和电解固体物高度，包括：提供熔盐电解装置，所述熔盐电解装置包括具有槽口的熔盐电解槽；向所述熔盐电解槽中加入熔融盐；提供一测量棒；将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽，并使所述测量棒接触所述熔盐电解槽的底部，定义所述测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A0；将所述测量棒移出所述熔盐电解槽，所述测量棒上附着的熔融盐高度为所述熔盐电解槽内的熔融盐液面高度；向所述熔盐电解槽的熔融盐内加入电解固体物；将所述测量棒竖直地伸入加入了电解固体物的熔盐电解槽，并使所述测量棒接触所述电解固体物，定义所述测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A1；基于A0与A1的差值得到熔盐电解槽内电解固体物的高度。可选的，提供熔盐电解装置的步骤包括：提供所述熔盐电解槽，所述熔盐电解槽包括：用于容纳所述熔融盐以及电解固体物的槽体，所述槽体内部密封；熔盐电解槽的槽口为所述槽体的槽口，所述槽口处设有密封盖；将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽的步骤包括：打开所述密封盖，将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽。可选的，提供测量棒的步骤之后，在将测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽的步骤之前，所述测量方法还包括：确认所述熔盐电解槽内的气压是否大于1个标准大气压；如果是，则将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽，并使所述测量棒接触所述熔盐电解槽的底部；如果否，则向所述熔盐电解槽内充入气体，进而使所述熔盐电解槽的气压大于1个标准大气压。可选的，向所述熔盐电解槽内充入气体的步骤包括：使所述熔盐电解槽内的气压在1～1.5个标准大气压的范围内。可选的，向所述熔盐电解槽内充入的气体为惰性气体或者氮气。可选的，提供测量棒的步骤之后，在将测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽的步骤之前，所述测量方法还包括：对所述测量棒进行清洁。可选的，对测量棒进行清洁的步骤包括：采用砂纸对所述测量棒进行打磨；在砂纸打磨的步骤之后，采用稀盐酸对所述测量棒进行清洗；在稀盐酸清洗的步骤之后，用水冲洗所述测量棒。可选的，所述测量棒为哈氏合金材料的测量棒。可选的，所述测量棒为镍基合金，所述镍基合金中还包括钼元素。可选的，将测量棒移出所述熔盐电解槽并测量棒上附着的熔融盐高度的步骤包括：将移出的测量棒固定在一支架上进行降温；待附着在测量棒上的熔融盐降温凝固后，测量所述熔融盐的高度。可选的，向熔盐电解槽的熔融盐内加入电解固体物的步骤之后，将所述测量棒竖直地伸入加入了电解固体物的熔盐电解槽的步骤之前，所述测量方法还包括：去除位于所述测量棒上的熔融盐。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：通过将测量棒竖直的伸入熔盐电解槽，并使所述测量棒接触所述熔盐电解槽的底部，进而使测量棒的一端沾上熔融盐，然后测量熔融盐即可得知熔盐电解槽内熔融盐液面高度；在将测量棒伸入熔盐电解槽后定义测量棒于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A0，然后在向熔盐电解槽内加入电解固体物之后，再次将测量棒伸入熔盐电解槽，并使所述测量棒接触所述电解固体物，这样测量棒将会比上一次高出槽口一段距离，这一段高出的距离便是加入的电解固体物的高度，并可以通过定义所述测量棒于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A1，然后将A0的值减去A1的值得到。整个过程只要两次伸入测量棒即可得知熔融盐液面高度和电解固体物高度，相对于现有技术更加简便，且不会像现有技术一样受到熔盐电解装置本身复杂结构的影响，测量结果更加准确；同时，测量棒伸入电解槽后便取出，不必像现有技术一样将一些浮子等测量装置长期放置在腐蚀性的熔融盐当中，这样可以减少所述测量棒遭到腐蚀的程度，进而可以在一定程度上避免测量棒被腐蚀而产生杂质影响熔融盐纯度进而导致电解产物纯度受到影响的问题，提升了电解产物的形成质量/纯度。进一步，在将测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽的步骤之前，对所述测量棒进行清洁有利于去除可能存在于所述测量棒上的杂质，进而减少测量棒对熔融盐的纯度的影响，进而提升电解产物的形成质量。附图说明图1至图6是本专利技术测量方法一实施例中各个步骤的示意图。具体实施方式在熔盐电解工艺中需要通过测量熔融盐液面高度和电解固体物高度，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量方法，用于测量熔盐电解装置内熔融盐液面高度和电解固体物高度，其特征在于，包括：提供熔盐电解装置，所述熔盐电解装置包括具有槽口的熔盐电解槽；向所述熔盐电解槽中加入熔融盐；提供一测量棒；将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽，并使所述测量棒接触所述熔盐电解槽的底部，定义所述测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A0；将所述测量棒移出所述熔盐电解槽，所述测量棒上附着的熔融盐高度为所述熔盐电解槽内的熔融盐液面高度；向所述熔盐电解槽的熔融盐内加入电解固体物；将所述测量棒竖直地伸入加入了电解固体物的熔盐电解槽，并使所述测量棒接触所述电解固体物，定义所述测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A1；基于A0与A1的差值得到熔盐电解槽内电解固体物的高度。

【技术特征摘要】
1.一种测量方法，用于测量熔盐电解装置内熔融盐液面高度和电解固体物高
度，其特征在于，包括：
提供熔盐电解装置，所述熔盐电解装置包括具有槽口的熔盐电解槽；
向所述熔盐电解槽中加入熔融盐；
提供一测量棒；
将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽，并使所述测量棒接触所述熔盐
电解槽的底部，定义所述测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置到测量棒
伸入电解槽一端的端部之间的距离为A0；
将所述测量棒移出所述熔盐电解槽，所述测量棒上附着的熔融盐高度为所
述熔盐电解槽内的熔融盐液面高度；
向所述熔盐电解槽的熔融盐内加入电解固体物；
将所述测量棒竖直地伸入加入了电解固体物的熔盐电解槽，并使所述测量
棒接触所述电解固体物，定义所述测量棒位于熔盐电解槽的槽口处的位置
到测量棒伸入电解槽一端的端部之间的距离为A1；
基于A0与A1的差值得到熔盐电解槽内电解固体物的高度。
2.如权利要求1所述的测量方法，其特征在于，提供熔盐电解装置的步骤包
括：
提供所述熔盐电解槽，所述熔盐电解槽包括：
用于容纳所述熔融盐以及电解固体物的槽体，所述槽体内部密封；
熔盐电解槽的槽口为所述槽体的槽口，所述槽口处设有密封盖；
将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽的步骤包括：
打开所述密封盖，将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽。
3.如权利要求1所述的测量方法，其特征在于，提供测量棒的步骤之后，在
将测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽的步骤之前，所述测量方法还包括：
确认所述熔盐电解槽内的气压是否大于1个标准大气压；
如果是，则将所述测量棒竖直地伸入所述熔盐电解槽，并使所述测量棒接
...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴景晖，姚力军，杜全国，
申请(专利权)人：宁波创润新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33