【技术实现步骤摘要】
有机污染物的处理装置
本技术涉及一种有机污染物的处理装置，尤指基座的通道内部装设有处理系统，且处理系统包括有滤网、第一水洗单元、第一冷凝单元、第二水洗单元、第三水洗单元及第二冷凝单元，即可通过处理系统来净化气体中的污染物，以达到高效率净化气体的效果。
技术介绍
光电、晶圆及积体电路等高科技产业的制造过程中，几乎每个步骤都分别使用各式各样的酸碱物质、有机溶剂及毒性气体等，而各种物质经过反应后又形成种类颇为复杂的产物，各制程不同所使用的化学物质也不同，故所有制程也都可能是空气的污染源，且生产制程所产生的废气都为连续排放，并依污染物的特性予以归类，可将晶圆及积体电路制程造成对空气污染的情况区分为：氧化扩散及化学蒸着沉积制程中所使用具有毒性、可燃性的气体以及反应后所生成的气体，蚀刻及清洗制程中所产生的酸碱气体，黄光室制程中所产生的有机溶剂气体；至于晶圆切割成晶片，再经过一连串的构装作业，可能的空气污染元包括有电镀区产生的酸碱废气、浸锡区产生的锡煤烟，以及清洗过程中产生的酸气与有机溶剂蒸气等几类，在这些制程中都会产生含有大量具有毒性的总有机化合物(TotalOrganicC...
【技术保护点】
1.一种有机污染物的处理装置，包括基座及处理系统，其中该基座内部设有供外部气体流通的通道，并在通道二侧分别设有贯通至外部的入风口及出风口，且通道内部装设有供净化外部气体的处理系统，其特征在于：该处理系统包括有依序从入风口朝出风口方向组装的滤网、第一水洗单元、第一冷凝单元、第二水洗单元、第三水洗单元及第二冷凝单元。
【技术特征摘要】
1.一种有机污染物的处理装置，包括基座及处理系统，其中该基座内部设有供外部气体流通的通道，并在通道二侧分别设有贯通至外部的入风口及出风口，且通道内部装设有供净化外部气体的处理系统，其特征在于：该处理系统包括有依序从入风口朝出风口方向组装的滤网、第一水洗单元、第一冷凝单元、第二水洗单元、第三水洗单元及第二冷凝单元。2.根据权利要求1所述有机污染物的处理装置，其特征在于：该处理系统的滤网为不锈钢材质、铝质、棉质或尼龙材质制成。3.根据权利要求1所述有机污染物的处理装置，其特征在于：该处理系统的第一水洗单元、第二水洗单元及第三水洗单元分别包括有第一喷水装置、第二喷水装置、第三喷水装置，以及受到第一喷水装置、第二喷水装置与第三喷水装置喷洒的第一网材、第二网材与第三网材。4.根据权利要求3所述有机污染物的处理装置，其特征在于：该第一喷水装置、第二喷水装置及第三喷...
【专利技术属性】
技术研发人员：林素妃，
申请(专利权)人：上海方莘环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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