【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一个权利要求1类型的微型阀和一个按照权利要求11的类型制造微型阀的方法。在DE-OS4221089中已公开了一个由连接的层件组成的微型阀。此处描述的微型阀由三个层形的依次安装的构件组成。这些构件由塑料或铝制成。该微型阀的闭合元件由包含金属粉未的塑料成型制成并由多个层件构成。为了制造该阀门应用了塑料加工程序,特别是注塑工艺或冲制以做结构成型。所用塑料的强度或化学抗蚀性总不能理想地适应于给定的工作环境。本专利技术具有权利要求1特征内容的微型阀具有优点是,它可以成本特别低廉和简单的型式及方法用金属制造。依此,可使微型阀获得所有积极的金属特性。对于这些单个金属的,电镀法沉积的微型阀构件可以在低的生产成本的同时保证很小的公差,因此完全优于现有可能的微型阀制作技术。在本专利技术微型阀中特别有利的是,在阀闭合件上没有如在公知的微型阀中存在的力和力矩的平衡补偿问题。以往的压力平衡的微型阀具有大的高负载的薄膜件。根据本专利技术对压力平衡微型阀的结构设置,获得的优点是,不需要机械高负载的膜片作为构件了。阀门行程,所开关的流体压力和微型阀的侧向尺寸(x-y方向上的尺 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:迪特马尔·哈恩,海因茨·富克斯,戈特弗里德·弗利克,托马斯·施特尼,亚历山大·伯林格尔,
申请(专利权)人:罗伯特·博施有限公司,
类型:发明
国别省市:
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