微细加工的阀门装置制造方法及图纸

一种经微细加工而成的根据对控制力的响应的流体处理装置，包括： 一个具有一表面的基体层；和 一个具有凹入部分的可移动膜层，其凹入部分用于处理流体并向基体层开口，可移动膜层具有界定凹入部分范围的周边，可移动层附着在基体层上，因而周边至少有一部分与基体层表面实现松接触，从而成为控制力的函数。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微细加工的缩微阀门。本专利技术的特征尤其在于改进的阀座具有氦检漏级气密性，此外，阀门组件可以精确地产生小体积气体样本。目前已有多种关于微细加工缩微阀门的改进。在美国专利4,869,282中，阀门的微细加工方法是在批量加工过程中采用现有的光刻、浸蚀等微加工工艺，在一层硅薄膜上做出阀门通道和阀口。若采用玻璃膜，管道或通道便可在用模制而成。将一层有机隔膜(最好是聚酰亚胺薄膜，如杜邦公司生产的卡普顿(KaptonR))沿空腔周边与硅薄膜熔接。作为阀门隔膜，这层有机隔膜的作用是有选择地密封阀座并防止气体从阀口流过。具有以上所述(包括美国专利4,869,282所述)结构形式的阀门装置有一个明显的缺点，即在阀门处于闭合状态时仍有少量的泄漏。在许多应用场合中，少量的泄漏影响不大，这种结构的阀门处于令人满意的工作状态。然而在某些应用场合中，这种形式的阀门并不能满足密封要求，例如在样本控制阀与质谱仪输入端相连的场合，阀门的一端必须维持高真空，因而阀门必须具有小于10-10atmccHe/sec的氦检漏级漏气率。本阀门装置用来控制流体流量，它包括一层开有阀口的脆性材料和沿此阀口周边形成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：辛西亚·R·内尔森，弗莱德·C·希特勒，格雷戈里·A·博舍，
申请(专利权)人：罗斯芒特分析公司，
类型：发明
国别省市：