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微细加工的阀门装置制造方法及图纸
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下载微细加工的阀门装置的技术资料
文档序号:2189722
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一种经微细加工而成的根据对控制力的响应的流体处理装置,包括: 一个具有一表面的基体层;和 一个具有凹入部分的可移动膜层,其凹入部分用于处理流体并向基体层开口,可移动膜层具有界定凹入部分范围的周边,可移动层附着在基体层上,因而周边...
该专利属于罗斯芒特分析公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗斯芒特分析公司授权不得商用。
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