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微型阀及制造微型阀的方法技术
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文档序号:2189720
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由相互叠置的,至少部分相互连接的层件构成的微型阀,其中,至少一个层件至少部分由金属材料构成,该阀具有至少一个流入口和至少一个流出口和一个其间可开关的阀座表面,其对应设置一个阀闭合元件,它可通过一个驱动装置进行控制,其特征在于: 该微型...
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