一种集成于微流控芯片上的电磁微阀制造技术

本发明专利技术涉及一种集成于微流体芯片上的顶针式电磁微阀结构。本发明专利技术所述的微流控芯片由带有流体通道的芯片和基片组成，其特征在于：所述微阀包括一片永磁铁，一个电磁铁、一个顶针和一个阀座；所述阀座为加工于所述芯片上且位于流体通道上方的下凹孔，阀座底面为PDMS弹性薄膜，且该底面为阀座与流体通道相交的共用壁，阀座的上端与外界相连通；所述顶针设置于阀座底面中心位置处且位于所述流体通道的正上方；所述永磁铁设置于阀座中且位于顶针的正上方；所述电磁铁设置于基片的下方且位于永磁铁的正下方；本发明专利技术所提出的电磁微阀能够全自动、快速响应，具有设计简单，操作控制性好，适用范围广，可全自动、程序化实现特定通道流体输运的通断。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种集成于微流控芯片上的电磁微阀，所述的微流控芯片由带有流体通道（6）的芯片（1）和基片（4）组成，其中芯片（1）材料为PDMS，其中基片（4）为玻璃片；所述基片（4）上旋涂有PDMS涂层（3），其特征在于：所述微阀包括一片永磁铁（9），一个电磁铁（5）、一个顶针（8）和一个阀座（2）；所述阀座（2）为加工于所述芯片（1）上且位于所述流体通道（6）上方的下凹孔，所述阀座（2）底面为PDMS弹性薄膜（7），且该底面为所述阀座（2）与所述微流控芯片流体通道（6）相交的共用壁，所述阀座（2）的上端与外界相连通；所述顶针（8）设置于所述阀座（2）底面中心位置处且位于所述流体通道（6）的正上方；所述永磁...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李梦琪，宋永欣，李冬青，潘新祥，
申请(专利权)人：大连海事大学，
类型：发明
国别省市：