【技术实现步骤摘要】
一种晶托抓取两轴机械手
本技术涉及半导体加工辅助工具，特别是一种晶托抓取两轴机械手，属于半导体加工领域。
技术介绍
晶托是承载硅棒的一种辅助工具，硅棒在加工过程中晶托得到广泛应用。晶托与硅棒粘接在一起，有利于硅棒的转移。在实际使用时，晶托及硅棒均具有较重的重量，尤其是在大规模生产现场，晶托或硅棒的转移是十分频繁的。操作人员不停地转移晶托或硅棒将造成操作人员的劳动强度大幅上升。采用人工转移晶托一方面转移效率低，另一方向晶托在转移过程中容易被损坏，缩短了晶托的使用寿命。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种晶托抓取两轴机械手，以替代手工转移晶托，提高晶托的转移效率。本技术解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种晶托抓取两轴机械手，包括夹爪，该晶托抓取两轴机械手还包括横轴和纵轴，所述纵轴沿所述横轴往复运动，所述夹爪沿所述纵轴往复运动，所述横轴包括横向架和固定于所述横向架上的横向导轨，在所述纵轴上设置有与所述横向导轨配合的滑座，在所述横向架上还设置有第一齿条，所述第一齿条与所述横向导轨平行，在所述滑座上设置有与所述第一齿条配合的第一齿轮，在所述滑座上还设置有驱动所述第...
【技术保护点】
1.一种晶托抓取两轴机械手，包括夹爪(1)，其特征是：该晶托抓取两轴机械手还包括横轴(2)和纵轴(3)，所述纵轴(3)沿所述横轴(2)往复运动，所述夹爪(1)沿所述纵轴(3)往复运动，所述横轴(2)包括横向架(4)和固定于所述横向架(4)上的横向导轨(5)，在所述纵轴(3)上设置有与所述横向导轨(5)配合的滑座(6)，在所述横向架(4)上还设置有第一齿条(7)，所述第一齿条(7)与所述横向导轨(5)平行，在所述滑座(6)上设置有与所述第一齿条(7)配合的第一齿轮，在所述滑座(6)上还设置有驱动所述第一齿轮旋转的第一伺服电机，所述纵轴(3)包括纵向架(8)，所述滑座(6)固定...
【技术特征摘要】
1.一种晶托抓取两轴机械手，包括夹爪(1)，其特征是：该晶托抓取两轴机械手还包括横轴(2)和纵轴(3)，所述纵轴(3)沿所述横轴(2)往复运动，所述夹爪(1)沿所述纵轴(3)往复运动，所述横轴(2)包括横向架(4)和固定于所述横向架(4)上的横向导轨(5)，在所述纵轴(3)上设置有与所述横向导轨(5)配合的滑座(6)，在所述横向架(4)上还设置有第一齿条(7)，所述第一齿条(7)与所述横向导轨(5)平行，在所述滑座(6)上设置有与所述第一齿条(7)配合的第一齿轮，在所述滑座(6)上还设置有驱动所述第一齿轮旋转的第一伺服电机，所述纵轴(3)包括纵向架(8)，所述滑座(6)固定于所述纵向架(8)上，在所述纵向架(8)上设置有纵向导轨(9)，所述夹爪(1)包括与所述纵向导轨(9)配合的座体(10)，在所述纵向架(8)上还设置有纵向齿条，所述纵向齿条与所述纵向导轨(9)平行，在所述座体(10)上设置有与所述纵向齿条啮合的第二齿轮，所述座体(10)上设置有驱动所述第二齿轮旋转的第二伺服电机，所述夹爪(1)还包括夹臂(11)，所述座体(10)上设置有轨道，所述夹臂(11)上设置有与所述轨道配合的配合部，在所述座体(10)上还设置有驱动所述夹臂(11)沿所述轨道往复运动的驱动器(12)，在所述座体(10)上还设置有检测所述夹爪(1)是否抓取物料的检测器(13)，该晶托抓取两轴机械手还包括控制器，所述第一伺服电机、第二伺服电机和驱动器(12)均由所述控制器控制工作，所述检测器(13)与所述控制器通讯。2.根据权利要求1所述一种晶托抓取两轴机械手，其特征是：所述夹臂(11)有两个，两个夹臂(11)均由独...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶欣，汪辉，金光前，胡普查，孙培文，朱国旺，洪昀，
申请(专利权)人：杭州中为光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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