下载一种晶托抓取两轴机械手的技术资料

文档序号:21877978

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体加工辅助工具,特别是一种晶托抓取两轴机械手,属于半导体加工领域。本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶托抓取两轴机械手,以替代手工转移晶托,提高晶托的转移效率。本实用新型所述的一种晶托抓取两轴机械手,包括夹爪、横轴和纵...
该专利属于杭州中为光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中为光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。