【技术实现步骤摘要】
一种多用途化学气相沉积装置
本专利技术涉及化学气相沉积设备
，具体涉及一种多用途化学气相沉积装置，特别适用于金刚石涂层和金刚石薄膜的制备。
技术介绍
金刚石是碳的一种同素异构体，具有一系列优异的物理性能，已知自然界物质中最高的硬度、耐磨性和弹性模量，极高的电阻率、击穿场强和很低的介电常数，宽的光谱透过范围，极高的热导率，极低的线膨胀系数，很宽的的禁带宽度，极高的载流子迁移率以及很好的化学稳定性。类金刚石涂层和硬质合金的较好韧性相结合，解决了金刚石的脆性缺陷，由于涂层比较薄，大大降低了制作成本，因此在机械行业有着广泛的应用，如拉丝模具涂层，刀具涂层和锯切工具涂层等。化学气相沉积金刚石可以生成单晶金刚石和多晶金刚石，目前实验室合成钻石已经用于首饰制作。多晶金刚石除了具有上述优异物理性能，还具有很高的强度，可以制作大尺寸膜片，在机械，电子，光学等方面广泛应用。现有化学气相沉积装置对沉积位置及环境的调整控制极为不便，并且环境调整的响应速度较为缓慢，沉积区域局部工作温度、角度、以及气流等条件容易偏离操作控制范围，使得金刚石沉积的均匀性难以达到较高的精度，并且容易造成结...
【技术保护点】
1.一种多用途化学气相沉积装置，顶部为等离子体源(1)，装置内空腔中部设置换热器(4)，所述换热器(4)将装置内部腔体分隔为上部的沉积反应室(3)和下部的气体收集室(5)两部分；所述换热器(4)设有能够使所述沉积反应室(3)和气体收集室(5)连通的通孔；所述沉积反应室(3)内设有沉积台(6)，所述沉积台(6)下方连接沉积台驱动轴(7)，所述沉积台驱动轴(7)向下穿过所述换热器(4)和气体收集室(5)两部分、并延伸至气体收集室(5)外部；所述气体收集室(5)下方中部设有真空系统接口(9)。
【技术特征摘要】
1.一种多用途化学气相沉积装置，顶部为等离子体源(1)，装置内空腔中部设置换热器(4)，所述换热器(4)将装置内部腔体分隔为上部的沉积反应室(3)和下部的气体收集室(5)两部分；所述换热器(4)设有能够使所述沉积反应室(3)和气体收集室(5)连通的通孔；所述沉积反应室(3)内设有沉积台(6)，所述沉积台(6)下方连接沉积台驱动轴(7)，所述沉积台驱动轴(7)向下穿过所述换热器(4)和气体收集室(5)两部分、并延伸至气体收集室(5)外部；所述气体收集室(5)下方中部设有真空系统接口(9)。2.根据权利要求1所述的多用途化学气相沉积装置，其特征在于，所述等离子体源(1)是热丝等离子体源、或火焰燃烧等离子枪、或微波、电弧等离子体源；所述等离子体源(1)采用热丝法，热丝为钨丝，热丝布置包括外周环形布置以及内部平行布置，环形布置的环形直径为250mm-300mm，平行布置的热丝尺寸为150mm×150mm；所述等离子体源(1)为一个或多个均布；所述等离子体源(1)与沉积台(6)为一对一、一对多、多对一或者多对多布置。3.根据权利要求1所述的多用途化学气相沉积装置，其特征在于，所述换热器(4)内的通孔均布设置。4.根据权利要求1所述的多用途化学气相沉积装置，其特征在于，所述沉积台(6)呈环形均布，环形中心设置或不设置沉积台，中心位置设置的沉积台与环形布置的沉积台在同一水平高度、或者不在同一水平高度。所述沉积台(6)的尺寸相同或不同，对...
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