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本发明提供一种多用途化学气相沉积装置，顶部为等离子体源，装置内空腔中部设置换热器，所述换热器将装置内部腔体分隔为上部的沉积反应室和下部的气体收集室两部分；所述换热器设有能够使所述沉积反应室和气体收集室连通的通孔；所述沉积反应室内设有沉积台，...
该专利属于杨卫正所有，仅供学习研究参考，未经过杨卫正授权不得商用。

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