滑阀真空泵减振装置制造方法及图纸

一种滑阀真空泵减振装置解决了在生产的过程中滑阀真空泵会产生振动并通过地面传导到单晶炉处，从而造成单晶与熔液液面的晃动，影响晶体生长的问题。它包括滑阀真空泵泵体和底座，在底座上设有减振弹簧。优点是：通过设在底座上的减振弹簧可起到减振作用，防止滑阀真空泵振动后经过地面传导到单晶炉处，确保晶体正常生长。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种滑阀真空泵减振装置，包括滑阀真空泵泵体和底座，其特征是：在底座上设有减振弹簧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙飞，王晟，
申请(专利权)人：锦州阳光能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：21[中国|辽宁]