温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种滑阀真空泵减振装置解决了在生产的过程中滑阀真空泵会产生振动并通过地面传导到单晶炉处，从而造成单晶与熔液液面的晃动，影响晶体生长的问题。它包括滑阀真空泵泵体和底座，在底座上设有减振弹簧。优点是：通过设在底座上的减振弹簧可起到减振作用，防止...
该专利属于锦州阳光能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过锦州阳光能源有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。