一种带有集成风冷系统的扩散炉技术方案

一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体，箱体内部设有加热炉，加热炉置于箱体一端。加热炉连接风冷腔。箱体内设有导轨，导轨一端置于加热炉内，导轨另一端置于风冷腔内。导轨上设有滑动块，滑动块上设有接舟装置。风冷腔内设有风机和气冷管，风机连接驱动机构，气冷管连接气源，驱动机构和气源置于箱体内。本实用新型专利技术的有益效果是：结构简单、操作方便，通过在扩散炉体内设置风冷区，使其与扩散炉合理的结合为一个整体，集成度高，占地面积小，缩短了风冷区与加热炉的距离。通过导轨联通加热炉与风冷系统，接舟装置通过导轨移动，缩短了出炉样片移动到风冷区的距离，加快了样片温度的降低速度。

A Diffusion Furnace with Integrated Air Cooling System

【技术实现步骤摘要】
一种带有集成风冷系统的扩散炉
本技术属于机械结构
，尤其是涉及一种带有集成风冷系统的扩散炉。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。现有的扩散炉大体分为垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型。垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面，有利于机械手传送硅片。水平扩散炉是石英舟平行于水平面，可设置多个工艺炉管，平均炉管的占地面积小，片间的工艺参数好。现有的扩散炉大多为独立的炉体结构，样片经退火处理或热氧化处理出炉后，需操作人员手动将载有已处理样片的石英舟拉出。拉出后，需要将样片运到风冷区进行降温处理。操作人员手动移动样片速度慢，影响样片降温速率，导致测试样片数据偏差大。且操作人员手动操作容易造成烫伤，快速移动石英舟过程中，容易拿不稳，石英舟脱落导致摔裂，造成划伤事件。为了加快样片温度的降低速度，需要单独设置风冷区，单独设置的风冷区距离炉管口较远，操作距离长，影响样片退火快速降温工艺要求，且单独设置的风冷区，设备结构复杂，占地面积大，生产成本高，应用范围小，不适合推广应用。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种扩散炉；尤其是结构简单，样片周转速度快，具有风冷单元，集成度高且生产成本低的一种带有集成风冷系统的扩散炉。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体，所述箱体为长方体，所述箱体内部设有加热炉，所述加热炉置于所述箱体一端，所述加热炉连接风冷系统，所述风冷系统包括风冷腔，所述风冷腔与所述加热炉联通，所述箱体内设有导轨，所述导轨一端置于所述加热炉内，所述导轨另一端置于所述风冷腔内，所述导轨上设有滑动块，所述滑动块上设有接舟装置，所述接舟装置与所述导轨配合滑动，所述风冷腔内设有风机和气冷管，所述风机为多个，所述风机依次置于所述风冷腔内，所述风机连接驱动机构，所述气冷管置于所述风冷腔内，所述气冷管为多个，所述气冷管与所述导轨平行分布，所述气冷管上设有透孔，所述气冷管连接气源，所述驱动机构和所述气源置于所述箱体内。进一步的，所述加热炉水平置于所述箱体内，所述加热炉为多个，所述加热炉由上到下依次平行分布。进一步的，所述风冷腔为多个，所述风冷腔水平置于所述箱体内，所述风冷腔由上到下依次平行分布。进一步的，所述加热炉内部设有加热管，所述加热管外表面设有加热丝，所述加热丝外表面设有保温棉，所述保温棉外表面设有金属防护壳。进一步的，所述加热丝呈螺旋状缠绕在所述加热管外表面。进一步的，所述接舟装置呈长方形盒状，所述接舟装置底部设有接舟支架，所述接舟支架底面连接滑动块上表面，所述接舟装置侧面设有推手。进一步的，所述接舟装置包括托舟底板和托舟侧板，所述托舟底板为长方形板，所述托舟侧板包括长度侧板和宽度侧板，所述长度侧板置于所述托舟底板长度方向的两侧，所述托舟底板与所述长度侧板程钝角设置，所述宽度侧板置于所述托舟底板宽度方向的两侧，所述宽度侧板为梯形板。进一步的，所述导轨两侧面设有凹槽，所述导轨截面呈“工”字形，所述滑动块上表面设有卡槽，所述卡槽的截面呈“凸”字形，所述导轨下表面嵌入所述卡槽内，所述滑动块为多个。进一步的，所述风机通过风机变频器连接所述驱动机构。进一步的，所述驱动机构为动力电机。本技术具有的优点和积极效果是：1、本技术结构简单、操作方便，通过在扩散炉体内设置风冷区，使其与扩散炉合理的结合为一个整体，集成度高，占地面积小，缩短了风冷区与加热炉的距离。通过导轨联通加热炉与风冷系统，接舟装置通过导轨移动，缩短了出炉样片移动到风冷区的距离，加快了样片温度的降低速度。2、本技术通过导轨移动接舟装置，运行时可以在导轨上用手轻推，即可使其快速滑动。接舟装置呈敞口状，可有效提高样片的放置空间，放置样片挤压，载有样片的接舟装置通过导轨可快速移动到风冷区。移动距离短，实现了样片快速降温的工艺要求，操作更加安全，杜绝了生产安全隐患，生产效率高，生产成本低。3、本技术设有多个加热炉和与之数量对应的风冷区，风冷区内设有风机，风机通过风机变频器连接驱动机构，可根据样片的处理要求，设置风机，满足不同样片的指标要求，应用范围广。附图说明图1是本技术实施例的整体结构示意图图2是本技术实施例的加热管的主视图图3是本技术实施例的加热管的侧视图图4是本技术实施例的接舟装置与导轨配合图图中：1、箱体2、加热炉3、风冷腔4、导轨5、风机6、接舟装置7、气冷管8、驱动机构9、气源10、推手11、宽度侧板12、托舟底板13、长度侧板14、接舟支架15、滑动块16、加热管17、保温棉18、加热丝19、金属防护壳具体实施方式下面结合附图对本技术实施例做进一步描述：如图1所示，一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体1，箱体1为长方体。箱体1内部设有加热炉2，加热炉2置于箱体1一端。加热炉2连接风冷系统，风冷系统包括风冷腔3，风冷腔3与加热炉2联通。箱体1内设有导轨4，导轨4一端置于加热炉2内，导轨4另一端置于风冷腔3内。导轨4上设有滑动块15，滑动块15上设有接舟装置6，接舟装置6与导轨4配合滑动。风冷腔3内设有风机5和气冷管7，风机5为多个，风机5依次置于风冷腔3内，风机5通过风机变频器连接驱动机构8。驱动机构8为动力电机。气冷管7置于风冷腔3内，气冷管7为多个，气冷管7与导轨4平行分布，气冷管7上设有透孔，气冷管7连接气源9，驱动机构8和气源9置于箱体1内。加热炉2水平置于箱体1内，加热炉2为多个，加热炉2由上到下依次平行分布。风冷腔3为多个，风冷腔3水平置于箱体1内，风冷腔3由上到下依次平行分布。加热炉2的数量与风冷腔3的数量相同。如图2、图3所示，加热炉2内部设有加热管16，加热管16外表面设有加热丝18，加热丝18呈螺旋状缠绕在加热管16外表面。加热丝18外表面设有保温棉17，保温棉17外表面设有金属防护壳19。如图4所示，接舟装置6呈长方形盒状，接舟装置6包括托舟底板12和托舟侧板。托舟底板12为长方形板，托舟侧板包括长度侧板13和宽度侧板11，长度侧板13置于托舟底板12长度方向的两侧，托舟底板12与长度侧板13程钝角设置。宽度侧板11置于托舟底板12宽度方向的两侧，宽度侧板11为梯形板。接舟装置6底部设有接舟支架14，接舟支架14底面连接滑动块15上表面，接舟装置6侧面设有推手10。导轨4两侧面设有凹槽，导轨4截面呈“工”字形，滑动块15上表面设有卡槽，卡槽的截面呈“凸”字形，导轨4下表面嵌入卡槽内，滑动块15为多个。本技术实施例的工作原理是：将样片放到接舟装置6上，接舟装置6沿导轨4移动到加热炉2内，加热管16工作，对样片进行加热处理。样片通过加热炉2加热处理之后，接舟装置6通过导轨4移动到风冷腔3内。打开风机5，根据需求调节风机5频率，风机5在驱动机构8的作用下运动，实现对样片的快速降温处理。同时打开气源9，气源9将冷气吹到气冷管7内，气冷管7上设有透孔，冷气可沿透孔释放，起到降温的作用。通过导轨4可快速将样片移动到风冷腔3，在风机5及气冷管7的双重作用下，可加快样片降温，提高样片的精度，测试样片数据偏差小。本技术具有的优点和积本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体，其特征在于：所述箱体为长方体，所述箱体内部设有加热炉，所述加热炉置于所述箱体一端，所述加热炉连接风冷系统，所述风冷系统包括风冷腔，所述风冷腔与所述加热炉联通，所述箱体内设有导轨，所述导轨一端置于所述加热炉内，所述导轨另一端置于所述风冷腔内，所述导轨上设有滑动块，所述滑动块上设有接舟装置，所述接舟装置与所述导轨配合滑动，所述风冷腔内设有风机和气冷管，所述风机为多个，所述风机依次置于所述风冷腔内，所述风机连接驱动机构，所述气冷管置于所述风冷腔内，所述气冷管为多个，所述气冷管与所述导轨平行分布，所述气冷管上设有透孔，所述气冷管连接气源，所述驱动机构和所述气源置于所述箱体内。

【技术特征摘要】
1.一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体，其特征在于：所述箱体为长方体，所述箱体内部设有加热炉，所述加热炉置于所述箱体一端，所述加热炉连接风冷系统，所述风冷系统包括风冷腔，所述风冷腔与所述加热炉联通，所述箱体内设有导轨，所述导轨一端置于所述加热炉内，所述导轨另一端置于所述风冷腔内，所述导轨上设有滑动块，所述滑动块上设有接舟装置，所述接舟装置与所述导轨配合滑动，所述风冷腔内设有风机和气冷管，所述风机为多个，所述风机依次置于所述风冷腔内，所述风机连接驱动机构，所述气冷管置于所述风冷腔内，所述气冷管为多个，所述气冷管与所述导轨平行分布，所述气冷管上设有透孔，所述气冷管连接气源，所述驱动机构和所述气源置于所述箱体内。2.根据权利要求1所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述加热炉水平置于所述箱体内，所述加热炉为多个，所述加热炉由上到下依次平行分布。3.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述风冷腔为多个，所述风冷腔水平置于所述箱体内，所述风冷腔由上到下依次平行分布。4.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述加热炉内部设有加热管，所述加热管外表面设有加热丝，所述加热丝外表面设有保温...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘效斐，
申请(专利权)人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古,15