复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具，包括机架和固定装置，所述固定装置位于机架内部，且固定装置由底座和固定架组成，所述固定架位于底座上端，所述固定架呈圆筒状，所述固定架内侧设有固定轴，且固定架外侧设有若干个载料板，所述载料板与固定轴之间通过连接杆固定连接，所述底座上端设有固定盘，所述固定盘内侧设有料槽。本实用新型专利技术通过设置带有载料板的可升降式固定架，以及与其配合使用的底座，通过载料板上的限位槽可以快速的对基板进行固定，当需要下料时，只需将固定架升起，通过晃动固定盘就可将基板倒出，下料更加方便、快捷。

Matrix Fixture for Magnetron Sputtering Coating on PC Plate of Composite Mobile Phone

【技术实现步骤摘要】
复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具
本技术涉及溅射镀膜
，具体为一种复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具。
技术介绍
溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。通常，利用低压惰性气体辉光放电来产生入射离子。阴极靶由镀膜材料制成，基片作为阳极，真空室中通入0.1-10Pa的氩气或其它惰性气体，在阴极靶1-3KV直流负高压或13.56MHz的射频电压作用下产生辉光放电。电离出的氩离子轰击靶表面，使得靶原子溅出并沉积在基片上，形成薄膜。相对于其它工件而言，手机PC板的体积较小，一般都是成批量进行加工的。而由于工艺的限制，溅射镀膜不太适合自动化生产，其在对手机PC进行加工时，需要手工将PC板固定到基片夹具上，效率较差，大大的影响了生产。为此，我们推出一种上下料方便的复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具，包括机架和固定装置，所述固定装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具，包括机架(1)和固定装置(2)，其特征在于：所述固定装置(2)位于机架(1)内部，且固定装置(2)由底座(3)和固定架(4)组成，所述固定架(4)位于底座(3)上端，所述固定架(4)呈圆筒状，所述固定架(4)内侧设有固定轴(5)，且固定架(4)外侧设有若干个载料板(6)，所述载料板(6)与固定轴(5)之间通过连接杆(7)固定连接，所述底座(3)上端设有固定盘(8)，所述固定盘(8)内侧设有料槽(9)，且料槽(9)内部设有位置与载料板(6)一一对应的垫块(10)，所述底座(3)一侧设有第一气缸(11)，且第一气缸(11)的伸缩杆与固定盘(8)固定...

【技术特征摘要】
1.一种复合材料手机PC板磁控溅射镀膜用基片夹具，包括机架(1)和固定装置(2)，其特征在于：所述固定装置(2)位于机架(1)内部，且固定装置(2)由底座(3)和固定架(4)组成，所述固定架(4)位于底座(3)上端，所述固定架(4)呈圆筒状，所述固定架(4)内侧设有固定轴(5)，且固定架(4)外侧设有若干个载料板(6)，所述载料板(6)与固定轴(5)之间通过连接杆(7)固定连接，所述底座(3)上端设有固定盘(8)，所述固定盘(8)内侧设有料槽(9)，且料槽(9)内部设有位置与载料板(6)一一对应的垫块(10)，所述底座(3)一侧设有第一气缸(11)，且第一气缸(11)的伸缩杆与固定盘(8)固定连接，所述底座(3)下端设有电机(12)，所述电机(12)通过联轴器与固定轴(5)传动连接，所述机架(1)上端设有用于提升固定架(4)的第二气缸(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张少波，陈诚，王进，张伟健，
申请(专利权)人：凯盛信息显示材料黄山有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34