研磨材的制造方法及研磨材技术

本发明专利技术的目的在于提供一种研磨材的制造方法及研磨材，所述研磨材即便增厚研磨层，厚度方向上的均质性也得到保证，可在维持优异的研磨速率及平坦化精度的同时提高寿命。本发明专利技术是一种研磨材的制造方法，所述研磨材包括基材；以及积层于该基材的表面侧且包含研磨粒、填充剂及粘合剂的研磨层，所述研磨材的制造方法包括：制备步骤，制备包含研磨粒、填充剂及粘合剂的研磨层用组合物；涂敷步骤，将研磨层用组合物涂敷于基材的表面；以及加热步骤，对涂敷步骤后的研磨层用组合物进行加热，在制备步骤中，将研磨层用组合物的固体成分中的研磨粒及填充剂的合计含量设为60体积％以上且85体积％以下。

Manufacturing method of abrasive material and abrasive material

【技术实现步骤摘要】
研磨材的制造方法及研磨材
本专利技术涉及一种研磨材的制造方法及研磨材。
技术介绍
近年来，正在推进硬盘(harddisk)等电子设备的精密化。对于此种电子设备的基板材料，考虑到可对应小型化或薄型化的刚性、耐冲击性及耐热性，可使用玻璃、蓝宝石等。此种基板的加工中通常使用固定研磨粒的研磨材。对该研磨材要求研磨速率以及损伤少的平坦化精度。作为研磨速率及平坦化精度优异的研磨材，例如提出了具有分散有研磨粒及填充剂的研磨层的研磨材(国际公开第2016/203914号公报)。该现有的研磨材通过利用研磨粒及填充剂对研磨层的硬度及磨耗量进行调整而达成了优异的研磨速率与平坦化精度的并存。另外，对研磨材期望长寿命化。在所述现有的研磨材中，研磨层会被磨耗，因此寿命主要由研磨层的厚度来决定。因此，为了延长研磨材的寿命而考虑增厚研磨层的方法。在所述现有的研磨材中，研磨层例如可通过印刷法来制作。在其制作步骤中，可通过将印刷中使用的掩模设为SUS制的厚掩模来增厚研磨层。但在以所述方式增厚的研磨层中，厚度方向上的均质性降低，在研磨层的厚度方向上产生容易磨耗的部分，难以获得所期望的寿命。另外，由于该厚度方向上的不均一性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种研磨材的制造方法，所述研磨材包括基材；以及积层于所述基材的表面侧且包含研磨粒、填充剂及粘合剂的研磨层，所述研磨材的制造方法包括：制备步骤，制备包含所述研磨粒、所述填充剂及所述粘合剂的研磨层用组合物；涂敷步骤，将所述研磨层用组合物涂敷于所述基材的表面；以及加热步骤，对所述涂敷步骤后的所述研磨层用组合物进行加热，在所述制备步骤中，将所述研磨层用组合物的固体成分中的所述研磨粒及所述填充剂的合计含量设为60体积％以上且85体积％以下，所述加热步骤具有：预干燥步骤，以常温下30分钟以上的条件对所述研磨层用组合物进行干燥；加热脱水步骤，在所述预干燥步骤后对所述研磨层用组合物的水分进行加热脱水；以及...

【技术特征摘要】
2017.12.27 JP 2017-2521881.一种研磨材的制造方法，所述研磨材包括基材；以及积层于所述基材的表面侧且包含研磨粒、填充剂及粘合剂的研磨层，所述研磨材的制造方法包括：制备步骤，制备包含所述研磨粒、所述填充剂及所述粘合剂的研磨层用组合物；涂敷步骤，将所述研磨层用组合物涂敷于所述基材的表面；以及加热步骤，对所述涂敷步骤后的所述研磨层用组合物进行加热，在所述制备步骤中，将所述研磨层用组合物的固体成分中的所述研磨粒及所述填充剂的合计含量设为60体积％以上且85体积％以下，所述加热步骤具有：预干燥步骤，以常温下30分钟以上的条件对所述研磨层用组合物进行干燥；加热脱水步骤，在所述预干燥步骤后对所述研磨层用组合物的水分进行加热脱水；以及加热硬化步骤，在所述加热脱水步骤后对所述研磨层用组合物进行加热硬化。2.根据权利要求1所述的研磨材的制造方法，其中，在所述涂敷步骤中，以使所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：下山贤治，笹岛启佑，
申请(专利权)人：阪东化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP