温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的目的在于提供一种研磨材的制造方法及研磨材，所述研磨材即便增厚研磨层，厚度方向上的均质性也得到保证，可在维持优异的研磨速率及平坦化精度的同时提高寿命。本发明是一种研磨材的制造方法，所述研磨材包括基材；以及积层于该基材的表面侧且包含研磨...
该专利属于阪东化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阪东化学株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。