结晶硅制造设备用的搬运设备制造技术

本发明专利技术提供一种结晶硅制造设备用的搬运设备，以减轻多结晶硅体至纵断加工为止的作业员的负担。一种结晶硅制造设备用的搬运设备，位于直线状的移动路径L的一侧部分L1的一侧空间Z1，以及位于另一侧部分L2的另一侧空间Z2，由形成有通过用开口4让搬运车1由通过的分隔壁3分隔且互相邻接般配置，铸造多结晶硅体的多个多结晶炉R沿着一侧部分L1被设置，将多结晶炉R所铸造的多结晶硅体进行纵断加工的多个加工机K沿着另一侧部分L2被设置，自由搬运多结晶硅体的搬运车1通过分隔壁3搬运多结晶硅体般被构成。

Transportation Equipment for Crystalline Silicon Manufacturing Equipment

【技术实现步骤摘要】
结晶硅制造设备用的搬运设备本专利技术涉及一种硅结晶体制造设备用的搬运设备，设置有搬运车沿着被设定为经过制造硅结晶体的多个硅结晶炉的状态下的移动路径上自由移动且自由搬运前述结晶炉所制造的结晶硅体。以过往的前述结晶硅制造设备用的搬运设备为例，设置有作为结晶炉的单结晶硅体制造装置(以下简称单结晶炉)，设置有搬运车沿着在被设定经过多个单结晶炉的状态下的直线状移动路径上自由移动且自由搬运单结晶炉所制造的单结晶硅体(例如请参照专利文献1)。单结晶炉为一种将硅石中取得的金属硅精制、析出后将多结晶硅溶融于例如备有可自由拆卸的石英制坩埚，通过于坩埚将晶种浸于溶融的硅中并慢慢拉起，使与此晶种具同样方向配列的单结晶被成长，最后成为大圆柱状的铸块的加工装置。上述专利文件1的搬运装置是，于移动路径上行走移动，将被投入单结晶硅的原料的坩埚从设定于与移动路径的端部对应的位置的坩埚搬入区块搬运至单结晶炉，并将铸块从单结晶炉搬运至设定于与移动路径的端部对应的位置的铸块搬出区块。因此，搬运坩埚至单结晶炉的作业或是从单结晶炉搬运铸块的作业皆可排除作业员，达到于硅结晶制造设备中减轻作业员的劳力。专利文献1：日本特开2010-132508号公报【专利技术要解决的课题】但以往的硅结晶制造设备用的搬运设备是，如上述般，将单结晶炉所制造的铸块由搬运车进行搬运，可减轻作业员从单结晶炉搬运铸块的劳力，搬运车搬运至搬出区块的铸块，由作业员换乘至别的台车后，为了加工成基板状而由人为作业搬运至切削加工机或是通过利用其它搬运单元搬运至切削加工机。顺带一提，在制造太阳能电池用的半导体基板的情形，经常使用多结晶硅体作为硅结晶体。多结晶硅体是，于多结晶炉使用可自由卸载的量杯状例如石墨制的坩埚，铸造成扁平长方体形状，之后，通过加工机纵断成角柱状，之后，将角柱状的多结晶硅体进行切削加工。因此，与圆柱状的单结晶硅体不一样，在使用多结晶硅体的情形，切削成基板状前，必须通过加工机进行角加工的步骤将扁平长方体纵断加工成角柱状。然而，将以往的硅结晶制造设备用的搬运设备用于多结晶硅体的制造设备的话，搬运车只有搬运多结晶炉所铸造的多结晶硅体，之后为了角加工送至加工机需要由人为作业来搬运，或是由其它的搬运单元进行搬运。因此，对多结晶硅体来说，角加工的步骤为必要的部分，对于以往的硅结晶制造设备用的搬运设备，到多结晶硅体被供给至切削加工机为止，多结晶硅体会发生多次的换乘作业，给予作业员较大的负担。再且，单结晶炉与多结晶炉是，为了于接近摄氏1000度的高温下将多结晶硅溶融，单结晶炉或多结晶炉被设置的空间会成为高温环境，将多结晶硅纵断加工成角柱状的步骤中，由于冷却切断时所产生的热的切削油形成油雾扩散于大气环境中，以往，为了避免设置多结晶炉的空间与设置加工机的空间相互受到环境的影响设置有分隔壁将其区隔。为此，为了从一侧空间移动至另一侧空间，必须使连通两空间的联络口开通，不能自由移动于两空间之间。因此，在从设置多结晶炉的空间至设置加工机的空间中进行搬运多结晶体硅的作业会有许多问题。本专利技术有鉴于上述的实际情况，目的在于提供一种硅结晶制造设备用的搬运设备，能够减轻作业员至多结晶硅体进行纵断加工为止的作业负担。【用以解决课题的手段】为了达成此目的，关于本专利技术的结晶硅制造设备用的搬运设备的第一特征构成为，在设置有搬运车沿着被设定经过多个结晶炉的状态下的移动路径上自由移动且自由搬运前述结晶炉所制造的结晶硅体的结晶硅制造设备用的搬运设备，前述多个结晶炉是，用来铸造多结晶硅的多结晶炉，前述移动路径被设定为直线状。位于前述移动路径的长边方向的一侧部分的一侧空间、以及位于前述移动路径的长边方向的另一侧部分的另一侧空间，通过形成让前述搬运车自由通过的通过用开口的分隔壁分隔并相互邻接而配置，前述多个多结晶炉所铸造的多结晶硅体进行纵断加工的多加工机，沿着前述另一侧空间中的前述移动路径的另一侧部分所配置，前述搬运车，可将于前述多结晶炉所铸造的前述多结晶硅体自由搬运通过前述分隔壁从前述多结晶炉送至前述加工机的等特点所构成。根据本特征构成，因为被配置成相互邻接的一侧空间与另一侧空间用分隔壁所分隔，可防止一侧空间的环境(例如，因配置多个多结晶炉而导致的高温环境)以及另一侧空间的环境(例如，因配置多个加工机而导致的粉尘或油雾浮游的环境)之间互相影响。一侧空间与另一侧空间用分隔板所分隔，由于分隔板上形成有通过用开口，搬运车可通过搬运车通过用开口，可沿着移动路径在一侧空间与另一侧空间之间移动。因此，搬运车是，可以将于一侧空间的多结晶炉所铸造的多结晶硅体，搬运至另一侧空间的加工机。多结晶硅体的情况下，与单结晶硅体的铸块不同，在进行用以得到半导体基板的切削加工之前必须进行将多结晶硅体通过加工机形成角柱状的纵断加工，关于此点，根据本案的特征构成，于多结晶炉所铸造的多结晶硅体，不需由作业员从一侧空间人为搬运至另一侧空间，也可于加工机进行纵断加工。如此，通过本特征构成，可以得到至多结晶硅体进行纵断加工为止的作业员的作业负担减轻的结晶硅制造设备用的搬运设备。关于本专利技术的结晶硅制造设备用的搬运设备的第二特征构成为，位于前述一侧空间对应前述移动路径端部的区块以及位于前述另一侧空间对应前述移动路径端部的区块，设置有可自由支撑铸造前述多结晶硅体用的坩埚的坩埚支撑平台，于前述一侧空间的前述坩埚支撑平台，设置有对于空的坩埚经由人为作业投入前述多结晶硅体的原料的铸造准备作业用区块，于前述另一侧空间的坩埚支撑平台，设置有对收容前述多结晶炉所铸造的多结晶体硅的前述坩埚经由人为作业破碎的坩埚破碎作业用区块，前述搬运车是，备有可自由支撑前述坩埚且至移载对象区块之间自由移载前述坩埚的移载装置而构成，在前述铸造准备作业用区块于前述移动路径上所对应的位置停止的状态下使前述移载装置动作，将于前述一侧空间中的前述坩埚支撑平台当作前述移载对象区块，自由接受前述多结晶硅体的原料被投入的前述坩埚般所构成，在对应前述坩埚破碎作业用区块的前述移动路径上的位置停止的状态下使前述移载装置动作，于前述另一侧空间中将前述坩埚支撑平台当作前述移载对象区块，自由送出收容被铸造的前述多结晶硅体的前述坩埚般被构成的特点。根据本特征构成，在铸造准备作业用区块是，在坩埚支撑平台所支撑的坩埚投入多结晶硅体的原料的铸造准备作业被进行，在坩埚破碎作业用区块是，将收容被铸造的多结晶硅体的坩埚被支撑在坩埚支撑平台，进行将此坩埚破碎的坩埚破碎作业。然后，铸造准备作业用区块是，位于一侧空间对应于前述移动路径的端部的区块，坩埚破碎作业用区块是，位于另一侧空间对应于前述移动路径端部的区块，为了使铸造准备作业或坩埚破碎作业，在对应于移动路径的端部的区块中成为极力避免使搬运车的干涉的状态，使一侧空间或另一侧空间成为作业性较好的区块而进行人工操作。由作业员完成铸造准备作业后，已投入原料的坩埚是，由配备有搬运车的移载装置进行移载，于搬运车中被搬运。由此，可将已投入原料的坩埚，例如，供给至多结晶炉。又，由作业员完成坩埚破碎作业之后，使收容多结晶硅体的坩埚粉碎令多结晶硅体在露出状态下于坩埚支撑平台被支持。然后，露出状态的多结晶硅体是，例如，使用起重机等经由人工操作置载于专用的托盘后，由移载装置中所配设的搬运车进行移载、搬运。接着本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种结晶硅制造设备用的搬运设备，是沿着被设定为经由制造结晶硅体的多个结晶炉状态的移动路径自由移动，且在该搬运设备中设有可自由搬运该多个结晶炉所制造的结晶硅体的搬运车，其中；该多个结晶炉为铸造多结晶硅体的多结晶炉；该移动路径被设定为直线状；位于该移动路径的长边方向的一侧部分的一侧空间以及位于该移动路径的长边方向的另一侧部分的另一侧空间是被分隔板所分隔且互相邻接而被配置，其中该分隔板形成有可让该搬运车自由通过的通过用开口；该多个多结晶炉沿着该一侧空间中的该移动路径而被设置；将该多个多结晶炉所铸造的多结晶硅体纵断加工成角柱状的多个加工机，沿着该另一侧空间中的该移动路径的另一侧部分而被设置；以及该搬运车可将该多结晶炉所铸造的该多结晶硅体通过该分隔板，并从该多结晶炉自由搬运至该多个加工机。

【技术特征摘要】
1.一种结晶硅制造设备用的搬运设备，是沿着被设定为经由制造结晶硅体的多个结晶炉状态的移动路径自由移动，且在该搬运设备中设有可自由搬运该多个结晶炉所制造的结晶硅体的搬运车，其中；该多个结晶炉为铸造多结晶硅体的多结晶炉；该移动路径被设定为直线状；位于该移动路径的长边方向的一侧部分的一侧空间以及位于该移动路径的长边方向的另一侧部分的另一侧空间是被分隔板所分隔且互相邻接而被配置，其中该分隔板形成有可让该搬运车自由通过的通过用开口；该多个多结晶炉沿着该一侧空间中的该移动路径而被设置；将该多个多结晶炉所铸造的多结晶硅体纵断加工成角柱状的多个加工机，沿着该另一侧空间中的该移动路径的另一侧部分而被设置；以及该搬运车可将该多结晶炉所铸造的该多结晶硅体通过该分隔板，并从该多结晶炉自由搬运至该多个加工机。2.如权利要求1所述的结晶硅制造设备用的搬运设备，其中；在该一侧空间且与该移动路径的端部相对应的区块以及位于该另一侧空间且与该移动路径的端部相对应的区块中，设有坩埚支撑平台自由载置并支撑用以铸造该多结晶硅体的坩埚；该一侧空间中的该坩埚支撑平台，被设置在通过人工操作投入该多结晶硅体原料至空的坩埚的铸造准备作业用区块中；该另一侧空间中的该坩埚支撑平台，被设置在通过人工操作对收容该多结晶炉所铸造的该多结晶硅体的该坩埚进行破碎的坩埚破碎作业用区块中；该搬运车具有将该坩埚自由支撑且...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯卢明，
申请(专利权)人：广州市创机自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44