【技术实现步骤摘要】
结晶硅制造设备用的搬运设备本专利技术涉及一种硅结晶体制造设备用的搬运设备，设置有搬运车沿着被设定为经过制造硅结晶体的多个硅结晶炉的状态下的移动路径上自由移动且自由搬运前述结晶炉所制造的结晶硅体。以过往的前述结晶硅制造设备用的搬运设备为例，设置有作为结晶炉的单结晶硅体制造装置(以下简称单结晶炉)，设置有搬运车沿着在被设定经过多个单结晶炉的状态下的直线状移动路径上自由移动且自由搬运单结晶炉所制造的单结晶硅体(例如请参照专利文献1)。单结晶炉为一种将硅石中取得的金属硅精制、析出后将多结晶硅溶融于例如备有可自由拆卸的石英制坩埚，通过于坩埚将晶种浸于溶融的硅中并慢慢拉起，使与此晶种具同样方向配列的单结晶被成长，最后成为大圆柱状的铸块的加工装置。上述专利文件1的搬运装置是，于移动路径上行走移动，将被投入单结晶硅的原料的坩埚从设定于与移动路径的端部对应的位置的坩埚搬入区块搬运至单结晶炉，并将铸块从单结晶炉搬运至设定于与移动路径的端部对应的位置的铸块搬出区块。因此，搬运坩埚至单结晶炉的作业或是从单结晶炉搬运铸块的作业皆可排除作业员，达到于硅结晶制造设备中减轻作业员的劳力。专利文献1...
【技术保护点】
1.一种结晶硅制造设备用的搬运设备，是沿着被设定为经由制造结晶硅体的多个结晶炉状态的移动路径自由移动，且在该搬运设备中设有可自由搬运该多个结晶炉所制造的结晶硅体的搬运车，其中；该多个结晶炉为铸造多结晶硅体的多结晶炉；该移动路径被设定为直线状；位于该移动路径的长边方向的一侧部分的一侧空间以及位于该移动路径的长边方向的另一侧部分的另一侧空间是被分隔板所分隔且互相邻接而被配置，其中该分隔板形成有可让该搬运车自由通过的通过用开口；该多个多结晶炉沿着该一侧空间中的该移动路径而被设置；将该多个多结晶炉所铸造的多结晶硅体纵断加工成角柱状的多个加工机，沿着该另一侧空间中的该移动路径的另一侧...
【技术特征摘要】
1.一种结晶硅制造设备用的搬运设备，是沿着被设定为经由制造结晶硅体的多个结晶炉状态的移动路径自由移动，且在该搬运设备中设有可自由搬运该多个结晶炉所制造的结晶硅体的搬运车，其中；该多个结晶炉为铸造多结晶硅体的多结晶炉；该移动路径被设定为直线状；位于该移动路径的长边方向的一侧部分的一侧空间以及位于该移动路径的长边方向的另一侧部分的另一侧空间是被分隔板所分隔且互相邻接而被配置，其中该分隔板形成有可让该搬运车自由通过的通过用开口；该多个多结晶炉沿着该一侧空间中的该移动路径而被设置；将该多个多结晶炉所铸造的多结晶硅体纵断加工成角柱状的多个加工机，沿着该另一侧空间中的该移动路径的另一侧部分而被设置；以及该搬运车可将该多结晶炉所铸造的该多结晶硅体通过该分隔板，并从该多结晶炉自由搬运至该多个加工机。2.如权利要求1所述的结晶硅制造设备用的搬运设备，其中；在该一侧空间且与该移动路径的端部相对应的区块以及位于该另一侧空间且与该移动路径的端部相对应的区块中，设有坩埚支撑平台自由载置并支撑用以铸造该多结晶硅体的坩埚；该一侧空间中的该坩埚支撑平台，被设置在通过人工操作投入该多结晶硅体原料至空的坩埚的铸造准备作业用区块中；该另一侧空间中的该坩埚支撑平台，被设置在通过人工操作对收容该多结晶炉所铸造的该多结晶硅体的该坩埚进行破碎的坩埚破碎作业用区块中；该搬运车具有将该坩埚自由支撑且...
【专利技术属性】
技术研发人员：柯卢明，
申请(专利权)人：广州市创机自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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