温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种结晶硅制造设备用的搬运设备，以减轻多结晶硅体至纵断加工为止的作业员的负担。一种结晶硅制造设备用的搬运设备，位于直线状的移动路径L的一侧部分L1的一侧空间Z1，以及位于另一侧部分L2的另一侧空间Z2，由形成有通过用开口4让搬运车...
该专利属于广州市创机自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市创机自动化科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。