【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置
本专利技术涉及晶硅太阳能电池领域，更具体地说是涉及一种对生产晶硅太阳能电池过程中产生的尾气进行处理的尾气处理装置。
技术介绍
晶硅太阳能电池分为P型晶硅和N型晶硅，N型晶硅电池因具有少子寿命高、无光致衰减、弱光效应好、温度系数小等优点，成为晶硅电池迈向理论最高效率的希望。由于通过离子注入掺杂产线成本太高，硼扩散掺杂成为量产N型晶硅电池工艺的首选，但硼扩散相较于常规电池磷扩散，生成的尾气含B2O3与H3BO3成粉末状，很容易堵塞尾气管道和真空隔膜泵。因此，处理尾气中的B2O3与H3BO3粉末成为困扰硼扩散量产工艺的瓶颈和维护难点。现有扩散设备一般采用过滤器的方式过滤尾气中的粉末，但硼扩散产生的粉末过多，造成滤芯与管道清洗周期太短，量产时导致维护设备的时间占比造成大量浪费。另外，当B2O3与H3BO3粉末随尾气进入到真空隔膜泵，会堵塞和腐蚀膜片，导致隔膜泵损坏频繁。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种尾气处理装置，能够去除尾气中的杂质。本专利技术的技术方案为：提供一种尾气处理装置，包括处理室，所述处理室内盛装有用于溶解尾气中的杂质的溶解液，所述处理室内设有隔板，所述隔板将处理室分隔成第一部分和第二部分，所述隔板上贯穿设有浸于溶解液中的过气孔，所述处理室的第一部分上设有进气孔，所述处理室的第二部分上设有出气孔。所述溶解液为水。所述尾气处理装置还包括干燥过滤器，所述干燥过滤器与出气孔连接。所述尾气处理装置还包括隔膜泵，所述隔膜泵与干燥过滤器连接，从所述干燥过滤器出来的尾气进入所述隔膜泵。所述处理室上设有溶解液进入口和溶解液排出口，所述尾气处理装置还...
【技术保护点】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括处理室（2），所述处理室（2）内盛装有用于溶解尾气中的杂质的溶解液（26），所述处理室（2）内设有隔板（21），所述隔板（21）将处理室（2）分隔成第一部分（27）和第二部分（28），所述隔板（21）上贯穿设有浸于溶解液（26）中的过气孔（211），所述处理室（2）的第一部分（27）上设有进气孔（22），所述处理室（2）的第二部分（28）上设有出气孔（23）。
【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括处理室（2），所述处理室（2）内盛装有用于溶解尾气中的杂质的溶解液（26），所述处理室（2）内设有隔板（21），所述隔板（21）将处理室（2）分隔成第一部分（27）和第二部分（28），所述隔板（21）上贯穿设有浸于溶解液（26）中的过气孔（211），所述处理室（2）的第一部分（27）上设有进气孔（22），所述处理室（2）的第二部分（28）上设有出气孔（23）。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述溶解液（26）为水。3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置还包括干燥过滤器（3），所述干燥过滤器（3）与出气孔（23）连接。4.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置还包括隔膜泵（4），所述隔膜泵（4）与干燥过滤...
【专利技术属性】
技术研发人员：文鸥，张勇，伍波，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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