具有集成的微型泵尤其是生化微反应器的微流体装置及其制造方法制造方法及图纸

一种用于核酸分析的微流体装置，包括单片半导体本体（１３）、至少部分容纳在所述单片半导体本体（１３）中的微流体电路（１０）以及微型泵（１１）。微流体电路（１０）包括形成在单片半导体本体（１３）上的样品制备通道（１８）和掩埋在单片半导体本体（１３）中的至少一个微流体通道（２０，２２）。微型泵（１１）包括多个设有相应可打开密封元件（４１）的多个密封腔（４０），所述密封腔中具有不同于所述微流体电路（１０）中的第二压力的第一压力。此外，微型泵（１１）和微流体电路（１０）配置成使得打开所述可打开密封元件（４１）提供相应腔（４０）与微流体电路（１０）之间的流体耦合。可打开密封元件（４１）集成在单片半导体本体（１３）中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于核酸分析的微流体装置，包括：　　　　－单片半导体本体（１３；１１３；２１３；３１３）；　　　　－微流体回路（１０；１１０；２１０；３１０），其至少部分容纳在所述单片半导体本体（１３；１１３；２１３；３１３）中，其中所述微流体回路（１０；１１０；２１０；３１０）包括形成在所述单片半导体本体（１３；１１３；２１３；３１３）上的样品制备通道（１８；１１８；２１８；３１８）和掩埋在所述单片半导体本体（１３；１１３；２１３；３１３）中的至少一个微流体通道（２０，２２；１２０，１２２；２２０，２２２；３２０）；　　　　－微型泵（１１；１１１；２１１；３１１），包括多个密封腔（４０；１４０ａ，１４０ｂ；２４０ａ，２４０ｂ；３４０），所述多个密封腔设有相应的可打开密封元件（４１；１４１；２４１；３４１）并且其中具有不同于所述微流体回路（１０；１１０；２１０；３１０）中的第二压力的第一压力，其中所述微型泵（１１；１１１；２１１）和所述微流体回路（１０；１１０；２１０；３１０）配置成使得打开所述可打开密封元件（４１；１４１；２４１；３４１）提供相应腔（４０；１４０ａ，１４０ｂ；２４０ａ，２４０ｂ；３４０）与所述微流体回路（１０；１１０；２１０；３１０）之间的流体耦合；　　　　其特征在于所述可打开密封元件（４１；１４１；２４１；３４１）集成在所述单片半导体本体（１３；１１３；２１３；３１３）中。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：MG斯库拉蒂，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：IT[意大利]