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一种用于核酸分析的微流体装置，包括单片半导体本体（１３）、至少部分容纳在所述单片半导体本体（１３）中的微流体电路（１０）以及微型泵（１１）。微流体电路（１０）包括形成在单片半导体本体（１３）上的样品制备通道（１８）和掩埋在单片半导体本体（１...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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