一种靶材箱制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种靶材箱，该靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。本实用新型专利技术实施例提供的靶材箱，能够解决在运输过程中因真空薄膜破裂而造成靶材被氧化的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材箱
本技术涉及靶材运输的
，尤其涉及一种靶材箱。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。为防止靶材在运输或者储藏的过程中发生变形或者发生氧化，需要对靶材进行真空保护，在相关技术中，先将靶材盛装于真空薄膜中，并抽真空，再将该真空薄膜与靶材一同收纳于靶材箱中，达到防止靶材在运输过程中发生变形或者发生氧化的效果。但是，这将造成对真空薄膜的浪费，且在运输或者储藏的过程中，若真空薄膜破裂，将造成靶材被氧化。
技术实现思路
本技术实施例提供一种靶材箱，以解决在运输过程中因真空薄膜破裂而造成靶材被氧化的问题。为解决以上技术问题，本技术采用如下技术方案：本技术实施例提供了一种靶材箱，所述靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。可选的，所述箱体或所述箱盖上还设置有透明的视窗，所述视窗用于观察所述靶材箱内的靶材。可选的，所述箱体或所述箱盖上还开设有第二气孔，用于向呈真空状态的所述靶材箱内通入气体，以便于打开所述靶材箱。可选的，所述箱体或所述箱盖上还设置有压力表，所述压力表用于指示所述靶材箱内的真空压力。可选的，所述箱体或所述箱盖上还穿设有可转动的螺丝杆，所述螺丝杆伸入所述靶材箱内的一端设置有弹性块，所述螺丝杆转动时带动所述弹性块在所述靶材箱内移动，以使弹性块能够对所述靶材箱内的靶材进行固定。可选的，所述箱体的底部还设置有至少四个转动轮。可选的，所述箱盖的顶部还设置有与所述至少四个转动轮一一匹配的至少四个凹槽，其中，在多个靶材箱叠放时，上方的靶材箱的转动轮卡设于下方的靶材箱的凹槽内。可选的，所述靶材箱还包括：设置于所述箱体和/或箱盖上的拉手。可选的，所述箱体和所述箱盖通过转轴转动连接。可选的，所述箱体和所述箱体上分别设置有匹配的锁止结构。在本技术实施例中，通过设置带气孔的靶材箱，这样，在将靶材装入靶材箱之后，即可对靶材箱抽真空或者还可以在抽真空之后通入惰性气体，以使靶材在储存和整个运输过程中都处于稳定的无氧环境，避免氧气或者空气中的腐蚀气体氧化靶材。且靶材箱为密封的箱体结构，相较于相关技术中采用真空薄膜对靶材进行真空防护的结构，其结构可靠性更高，在运输或者存储过程中不易损坏。可见，本技术实施例能够解决现有技术中因真空薄膜容易破裂而导致靶材被氧化的问题。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例提供的靶材箱在闭合状态的结构示意图；图2是本技术实施例提供的靶材箱在打开状态的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请同时参阅图1至图2，其中，图1是本技术实施例提供的靶材箱在闭合状态的结构示意图；图2是本技术实施例提供的靶材箱在打开状态的结构示意图。该靶材箱100用于盛装靶材。如图2所示，靶材箱100包括箱体1和箱盖2，箱体1或箱盖2上开设有第一气孔11。其中，箱体1与箱盖2可密封连接以形成收容靶材的收容空间，第一气孔11用于与真空泵连接，以对靶材箱100进行抽真空，或者，第一气孔11用于向处于预设真空度的靶材箱100内通入惰性气体。在具体应用过程中，可以先通过与第一气孔11连通的真空泵对靶材箱100进行抽真空，当靶材箱100内的真空度达到预设真空度之后，在通过第一气孔11向靶材箱100内通入惰性气体。另外，靶材箱100还可以包括设置于靶材箱100内的固定结构3，用于固定靶材，防止靶材在靶材箱100内发生移动。如图1所示，本实施方式中，第一气孔11设置于箱盖2的顶部，当然，第一气孔11还可以设置于箱盖2的侧面或者箱体1上，在此不作具体限定。另外，可以在箱盖2与箱体1之间夹设密封圈，在靶材箱100闭合时，可以形成上述密封连接结构。需要说明的是，上述对靶材箱100进行抽真空，表示利用真空泵使靶材箱100达到工业真空状态，从而达到靶材的存储要求，防止大量氧气氧化靶材。其中，在靶材箱100达到预设真空度之后，可以通过第一气孔11向该靶材箱100充入惰性气体，保持靶材箱100内外气压一致或者相近，避免过大的气压差损坏靶材箱100。上述预设真空度可以根据靶材的种类、存储要求、需要存储时间等因素确定。另外，惰性气体可以是氩气、氮气等不容易发生化学反应的气体。而且，靶材箱100的箱体1和箱盖2可以采用铝合金、不锈钢等金属材料制成，从而使靶材箱100轻便且结构可靠。通过设置带气孔的靶材箱，这样，在将靶材装入靶材箱之后，即可对靶材箱抽真空或者还可以在抽真空之后通入惰性气体，以使靶材在储存和整个运输过程中都处于稳定的无氧环境，避免氧气或者空气中的腐蚀气体氧化靶材。且靶材箱为密封的箱体结构，相较于相关技术中采用真空薄膜对靶材进行真空防护的结构，其结构可靠性更高，在运输或者存储过程中不易损坏。可见，本技术实施例能够解决现有技术中因真空薄膜容易破裂而导致靶材被氧化的问题。可选的，如图1或图2所示，靶材箱100的箱体1和/或箱盖2上还设置有透明的视窗4，该视窗4用于观察靶材箱100内的靶材。本实施方式中，视窗4为玻璃视窗，且设置于箱盖2的顶部，在具体应用过程中，视窗4还可以设置于靶材箱100的侧边，以便多个靶材箱叠放时，仍然能够查看靶材箱100内的靶材，在此不对视窗4设置于靶材箱100上的具体位置作限定。需要说明的是，视窗4的周沿与箱盖2密封连接，以确保靶材箱100的密封性能。当然，视窗4还可以是其他透明视窗，例如：透明塑料视窗。这样，能够在不打开靶材箱的情况下，对靶材箱内的靶材进行查看，以便及时发现靶材发生损坏或者发生氧化的情况，及时采取防治措施。可选的，如图1或图2所示，靶材箱100还包括连通收容空间与外界的第二气孔12，用于向呈真空状态的靶材箱100内通入气体，从而增加靶材箱100内的压强，以便于打开靶材箱100。在靶材箱100完成抽真空之后，需要通过第二气孔12向靶材箱100内通入气体，该气体可以是空气，从而防止靶材箱100的内外压强过大而难以打开。本实施例中。第二气孔12与第一气孔11间隔设置，并共同设置于箱盖2的顶部。当然，第一气孔11和第二气孔12可以是同一个气孔，并且，可以设置于箱体1或箱盖2上的其他任意位置。只需确保该气孔同时具备与真空泵连接以进行抽真空和向靶材箱100内通入气体的功能即可。例如，设置一根与第一气孔11连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材箱，其特征在于，所述靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。

【技术特征摘要】
1.一种靶材箱，其特征在于，所述靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。2.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还设置有透明的视窗，所述视窗用于观察所述靶材箱内的靶材。3.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还开设有第二气孔，用于向呈真空状态的所述靶材箱内通入气体，以便于打开所述靶材箱。4.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还设置有压力表，所述压力表用于指示所述靶材箱内的真空压力。5.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马国秦，
申请(专利权)人：米亚索乐装备集成福建有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35