带有报警装置的数控真空镀膜机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了带有报警装置的数控真空镀膜机，属于镀膜机领域，带有报警装置的数控真空镀膜机包括镀膜室和油扩散泵，油扩散泵与镀膜室的底端固定连接，还包括用于冷却油扩散泵的冷却组件、以及控制器，冷却组件上设有防回油报警件，防回油报警件与控制器电性连接，镀膜室上设有高温报警件，高温报警件与控制器电性连接，控制器与油扩散泵电性连接。本实用新型专利技术的带有报警装置的数控真空镀膜机报警及时，安全性高。

【技术实现步骤摘要】
带有报警装置的数控真空镀膜机
本技术属于镀膜机领域，尤其涉及一种带有报警装置的数控真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机常采用油扩散泵进行抽真空，油扩散泵的返油现象一直是使用油扩散泵需要注意的问题，当冷却水不足时，必须关闭油扩散泵，否则轻则会造成返油，重则会使油扩散泵过热造成油扩散泵油烧焦。这就需要在冷却水不足时及时报警，以便于进行冷却水的添加和油扩散泵的关闭，确保真空镀膜机的安全性，并且真空室的温度过高也存在安全问题，需要进行及时报警。
技术实现思路
为了克服现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题在于提出一种带有报警装置的数控真空镀膜机，报警及时，安全性高。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供的带有报警装置的数控真空镀膜机，包括镀膜室和油扩散泵，油扩散泵与镀膜室的底端固定连接，还包括用于冷却油扩散泵的冷却组件、以及控制器，冷却组件上设有防回油报警件，防回油报警件与控制器电性连接，镀膜室上设有高温报警件，高温报警件与控制器电性连接，控制器与油扩散泵电性连接。本技术优选地技术方案在于，防回油报警件包括液位传感器和报警灯，液位传感器与控制器电性连接，控制器与报警灯电性连接。本技术优选地技术方案在于，冷却组件包括水箱、L型连接管、以及冷却水管，冷却水管绕设在油扩散泵的外侧壁上，L型连接管的一端与冷却水管固定连接，L型连接管的另一端插进水箱的内部，液位传感器固定在水箱内侧壁的下方，报警灯固定在水箱的外侧壁上。本技术优选地技术方案在于，还包括进水管和电磁阀，进水管固定连通在水箱上，进水管上设有电磁阀，电磁阀与控制器电性连接。本技术优选地技术方案在于，高温报警件包括温度传感器和蜂鸣器，温度传感器固定在镀膜室的内部，蜂鸣器固定在镀膜室的外侧壁上，温度传感器与控制器电性连接，控制器与蜂鸣器电性连接。本技术优选地技术方案在于，温度传感器共4个，且分别固定在镀膜室内侧壁的四个角上。本技术优选地技术方案在于，还包括机台，镀膜室和控制器均固定在机台的顶部，油扩散泵固定在机台的内部，水箱固定在机台的侧壁上，L型连接管穿过机台侧壁与冷却水管相连接。本技术优选地技术方案在于，油扩散泵的出气口连接有出气软管，出气软管的出气端固定在机台的侧壁上，且穿过机台的侧壁与外界连通。本技术优选地技术方案在于，机台的侧壁上开设有通风孔。本技术的有益效果为：本技术提供的带有报警装置的数控真空镀膜机，通过液位传感器的检测和报警灯的灯光警示，提醒操作人员进行冷却水的添加，避免由于冷却水不足造成的返油现象和油扩散泵过热造成的油烧焦。通过温度传感器的检测和蜂鸣器的声音警示，提醒操作人员进行降温处理，提高安全性，并且通过控制器统一控制，无需人工实时观察，警报及时。电磁阀的设置结合控制器，便于冷却水的添加。4个温度传感器的设置避免单个温度传感器造成的检测不精准。通风孔的设置提高机台内部与外界空气的流通。附图说明图1是本技术的主视结构示意图；图2是本技术的控制原理框图。图中：1、镀膜室；2、油扩散泵；3、冷却组件；31、水箱；32、L型连接管；33、冷却水管；4、防回油报警件；41、液位传感器；42、报警灯；5、高温报警件；51、温度传感器；52、蜂鸣器；6、控制器；7、进水管；8、电磁阀；9、机台；10、出气软管；11、通风孔。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1至图2所示，本实施例中提供的带有报警装置的数控真空镀膜机，包括镀膜室1、油扩散泵2、用于冷却油扩散泵2的冷却组件3、控制器6和机台9，油扩散泵2与镀膜室1的底端固定连接，通过油扩散泵2对镀膜室1进行抽真空，冷却组件3上设有防回油报警件4，防回油报警件4与控制器6电性连接，镀膜室1上设有高温报警件5，高温报警件5与控制器6电性连接，控制器6的输出端与油扩散泵2的输入端电性连接，防回油报警件4包括液位传感器41和报警灯42，液位传感器41的输出端与控制器6的输入端电性连接，控制器6的输出端与报警灯42的输入端电性连接，冷却组件3包括水箱31、L型连接管32、以及冷却水管33，冷却水管33绕设在油扩散泵2的外侧壁上，L型连接管32的左端与冷却水管33固定连接，L型连接管32的底端插进水箱31的内部，液位传感器41固定在水箱31内侧壁的下方，报警灯42固定在水箱31的右侧壁上，镀膜室1和控制器6均固定在机台9的顶部，油扩散泵2固定在机台9的内部，水箱31固定在机台9的右侧壁上，L型连接管32穿过机台9的左侧壁与冷却水管33相连接，高温报警件5包括温度传感器51和蜂鸣器52，温度传感器51固定在镀膜室1的内部，蜂鸣器52固定在镀膜室1的前侧壁上，温度传感器51的输出端与控制器6的输入端电性连接，控制器6的输出端与蜂鸣器52的输入端电性连接，当水箱31内的冷却水不足时，液位传感器41将信号传递给控制器6，控制器6控制油扩散泵2停止工作，同时控制器6控制报警灯42闪亮，起到报警提示作用，提醒操作人员进行冷却水的添加，避免由于冷却水不足造成的返油现象和油扩散泵2过热造成的油烧焦。当镀膜室1内的温度高于温度传感器51的预设阈值时，温度传感器51将过热信号传递给控制器6，控制器6控制蜂鸣器52发出蜂鸣声，起到报警作用，提醒操作人员进行降温处理，提高安全性，并且通过控制器6统一控制，无需人工实时观察，警报及时。为了便于冷却水的添加，进一步的，还包括进水管7和电磁阀8，进水管7固定连通在水箱31上，进水管7上设有电磁阀8，电磁阀8的输入端与控制器6的输出端电性连接，控制器6控制油扩散泵2停止工作的同时，也控制电磁阀8打开，冷却水通过进水管7添加至水箱31内。为了使得检测更加准确，进一步的，温度传感器51共4个，且分别固定在镀膜室1内侧壁的四个角上，4个温度传感器51的设置避免单个温度传感器51造成的检测不精准，覆盖镀膜室1内部的四个角，检测精准。为了便于油扩散泵2排出的气体从机台9侧壁排出，进一步的，油扩散泵2的出气口连接有出气软管10，出气软管10的出气端固定在机台9的侧壁上，且穿过机台9的侧壁与外界连通，通过出气软管10改变油泵出口排气的方向，使得气体从机台9的侧壁排出。为了提高机台9内部与外界空气的流通，进一步的，机台9的侧壁上开设有通风孔11。本实施例中，控制器6为PLC控制器6，型号为西门子S-1200，油扩散泵2型号为KT-600，液位传感器41型号为WL705-00，报警灯42型号为LET-1101，温度传感器51型号为ETS388-5-150-000，蜂鸣器52型号为QMB-105A，电磁阀8型号为S070-6CC。本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。本技术是通过优选实施例进行描述的，本领域技术人员知悉，在不脱离本技术的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。本技术不受此处所公开的具体实施例的限制，其他落入本申请的权利要求内的实施例都属于本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.带有报警装置的数控真空镀膜机，包括镀膜室(1)和油扩散泵(2)，所述油扩散泵(2)与所述镀膜室(1)的底端固定连接，其特征在于：还包括用于冷却所述油扩散泵(2)的冷却组件(3)、以及控制器(6)；所述冷却组件(3)上设有防回油报警件(4)，所述防回油报警件(4)与所述控制器(6)电性连接；所述镀膜室(1)上设有高温报警件(5)，所述高温报警件(5)与所述控制器(6)电性连接；所述控制器(6)与所述油扩散泵(2)电性连接。

【技术特征摘要】
1.带有报警装置的数控真空镀膜机，包括镀膜室(1)和油扩散泵(2)，所述油扩散泵(2)与所述镀膜室(1)的底端固定连接，其特征在于：还包括用于冷却所述油扩散泵(2)的冷却组件(3)、以及控制器(6)；所述冷却组件(3)上设有防回油报警件(4)，所述防回油报警件(4)与所述控制器(6)电性连接；所述镀膜室(1)上设有高温报警件(5)，所述高温报警件(5)与所述控制器(6)电性连接；所述控制器(6)与所述油扩散泵(2)电性连接。2.根据权利要求1所述的带有报警装置的数控真空镀膜机，其特征在于：所述防回油报警件(4)包括液位传感器(41)和报警灯(42)；所述液位传感器(41)与所述控制器(6)电性连接；所述控制器(6)与所述报警灯(42)电性连接。3.根据权利要求2所述的带有报警装置的数控真空镀膜机，其特征在于：所述冷却组件(3)包括水箱(31)、L型连接管(32)、以及冷却水管(33)；所述冷却水管(33)绕设在所述油扩散泵(2)的外侧壁上；所述L型连接管(32)的一端与所述冷却水管(33)固定连接；所述L型连接管(32)的另一端插进所述水箱(31)的内部；所述液位传感器(41)固定在所述水箱(31)内侧壁的下方；所述报警灯(42)固定在所述水箱(31)的外侧壁上。4.根据权利要求3所述的带有报警装置的数控真空镀膜机，其特征在于：还包括进水管(7)和电磁阀(8)；所述进水管(7)固定连通在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王汉春，张金兴，罗来山，
申请(专利权)人：金山莱宝厦门科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35