【技术实现步骤摘要】
一种安全性高的数控真空镀膜机
本技术属于真空镀膜机领域，尤其涉及一种安全性高的数控真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。真空镀膜机中存在许多安全隐患，在生产过程中需要重视这些安全隐患。其中，镀膜室的温度过高会造成成品合格率下降，并且损坏镀膜室及其内部件，轻则机器部件损坏，重则危及人身财产安全。目前对镀膜室进行冷却方式大多采用在镀膜室外设冷却管，在冷却管内通过冷却水进行冷却，这种在外冷却的方式冷却速度慢，安全性不高。
技术实现思路
为了克服现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题在于提出一种安全性高的数控真空镀膜机，安全性高。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供的一种安全性高的数控真空镀膜机，包括镀膜室和循环水冷却组，镀膜室的侧壁开设有冷却水腔，镀膜室的内侧壁固定有若干管壳，每个侧壁上相邻的两个管壳之间均通过连接管固定连接，管壳与冷却水腔之间通过通孔连通，冷却水腔与循环水冷却组相连通。本技术优选地技术方案在于，循环水冷却组包括冷却水进水管...
【技术保护点】
1.一种安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：包括镀膜室(1)和循环水冷却组(2)；所述镀膜室(1)的侧壁开设有冷却水腔(3)；所述镀膜室(1)的内侧壁固定有若干管壳(4)，每个侧壁上相邻的两个所述管壳(4)之间均通过连接管(5)固定连接；所述管壳(4)与所述冷却水腔(3)之间通过通孔(6)连通；所述冷却水腔(3)与所述循环水冷却组(2)相连通。
【技术特征摘要】
1.一种安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：包括镀膜室(1)和循环水冷却组(2)；所述镀膜室(1)的侧壁开设有冷却水腔(3)；所述镀膜室(1)的内侧壁固定有若干管壳(4)，每个侧壁上相邻的两个所述管壳(4)之间均通过连接管(5)固定连接；所述管壳(4)与所述冷却水腔(3)之间通过通孔(6)连通；所述冷却水腔(3)与所述循环水冷却组(2)相连通。2.根据权利要求1所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：所述循环水冷却组(2)包括冷却水进水管(21)、冷却塔(22)、冷却水出水管(23)、以及循环水泵(24)；所述冷却水进水管(21)的一端固定连通在所述镀膜室(1)外侧壁的下方；所述冷却水进水管(21)的另一端与所述冷却塔(22)的出水端固定连通；所述冷却水出水管(23)的一端固定连通在所述镀膜室(1)外侧壁的上方；所述冷却水出水管(23)的另一端与所述冷却塔(22)的进水端固定连通；所述循环水泵(24)设在所述冷却水出水管(23)上。3.根据权利要求1所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：还包括抽真空组(7)；所述抽真空组(7)与所述镀膜室(1)固定连通。4.根据权利要求3所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：所述抽真空组(7)包括连接管(7...
【专利技术属性】
技术研发人员：王汉春，张金兴，罗来山，
申请(专利权)人：金山莱宝厦门科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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