带气动挡板的阴极电弧源制造技术

本实用新型专利技术公开了带气动挡板的阴极电弧源，属于阴极电弧源领域，带气动挡板的阴极电弧源包括法兰座和阴极电弧源本体，阴极电弧源本体固定在法兰座上，还包括气动挡板，气动挡板包括支架杆、驱动支架杆转动的旋转气缸、密封件、以及屏蔽上板，支架杆穿过法兰座，且能够相对法兰座转动，支架杆的一端与旋转气缸固定连接，支架杆的另一端与屏蔽上板的外边沿固定连接，屏蔽上板位于阴极电弧源本体的上方，支架杆与法兰座的接触处通过密封件密封。本实用新型专利技术的带气动挡板的阴极电弧源无需空炉镀制清洗靶材，节约时间。

【技术实现步骤摘要】
带气动挡板的阴极电弧源
本技术属于阴极电弧源领域，尤其涉及一种带气动挡板的阴极电弧源。
技术介绍
阴极电弧离子镀，是由前苏联专利技术，美国的多弧公司将其应用于工业，后来在装饰镀膜、工模具镀膜等行业得到蓬勃发展。镀出的膜层有沉积速度快、致密度高，结合力好等特点。阴极电弧源是真空镀膜设备的主要零部件，目前的阴极电弧源主要存在以下问题：在装饰镀行业，使用阴极电弧离子镀镀制黑色膜层，因为加入了乙炔气体的缘故，阴极靶材表面会吸附碳原子或乙炔气体，这使得阴极靶材表面会发黑。而发黑的阴极靶材在镀制下一炉黑色产品的时候，会优先燃烧镀制到产品上，产品会由于底层不干净而产生掉膜的问题。所以现有的阴极电弧镀制黑色是镀制一炉后，然后不放产品再点燃阴极电弧，把阴极电弧表面燃烧干净，再镀制下一炉产品，这一方式方法极大的浪费了时间、浪费了电力，降低了生产效率。
技术实现思路
为了克服现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题在于提出一种带气动挡板的阴极电弧，无需空炉镀制清洗靶材，节约时间。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供的带气动挡板的阴极电弧源，包括法兰座和阴极电弧源本体，阴极电弧源本体固定在法兰座上，还包括气动挡板，气动挡板包括支架杆、驱动支架杆转动的旋转气缸、密封件、以及屏蔽上板，支架杆穿过法兰座，且能够相对法兰座转动，支架杆的一端与旋转气缸固定连接，支架杆的另一端与屏蔽上板的外边沿固定连接，屏蔽上板位于阴极电弧源本体的上方，支架杆与法兰座的接触处通过密封件密封。本技术优选地技术方案在于，阴极电弧源本体包括阴极座、调节套、以及永磁体，阴极座固定在法兰座上，调节套通过阴极座安装固定在法兰座的一侧，阴极座的中部固定有磁铁座，且磁铁座位于法兰座的另一侧，永磁体的一部分或者全部位于磁铁座内，且与磁铁座滑动配合，屏蔽上板位于调节套的上方。本技术优选地技术方案在于，密封件包括两个铜环和两个胶圈，两个铜环和两个胶圈交错分布。本技术优选地技术方案在于，还包括电磁阀、继电器、以及PLC，电磁阀与旋转气缸电性连接，继电器与电磁阀电性连接，PLC与继电器电性连接。本技术优选地技术方案在于，还包括触摸屏，触摸屏与PLC电性连接。本技术优选地技术方案在于，阴极电弧源本体还包括屏蔽绝缘垫和屏蔽套，调节套与法兰座之间固定有屏蔽绝缘垫，屏蔽套嵌设于调节套内。本技术优选地技术方案在于，阴极电弧源本体还包括聚四氟绝缘垫，阴极座与法兰座之间固定有聚四氟绝缘垫。本技术优选地技术方案在于，阴极电弧源本体还包括磁场微调件，磁场微调件与永磁体固定连接。本技术优选地技术方案在于，磁场微调件包括磁堵和磁杆，磁杆的一端与永磁体固定连接，磁杆的另一端与磁堵固定连接。本技术优选地技术方案在于，永磁体与调节套同轴心设置。本技术的有益效果为：本技术提供的带气动挡板的阴极电弧源，通过旋转气缸带动屏蔽上板转动进行开启和关闭，阴极靶材上面的发黑物质会被燃烧出来然后镀制在屏蔽上板上，而不是镀制到产品上，产品的底层没有被黑色物质污染，保护了产品的底层。节约了一次抽真空的时间，时间的节约也造就了电费的节约，同时提高生产效率。通过铜环对胶圈的与压紧，提高了胶圈的密封效果。通过PLC控制旋转气缸动作，并在触摸屏上可以输时间等参数控制PLC，更加方便。通过屏蔽绝缘垫和屏蔽套进行屏蔽，起到良好的抗干扰效果。聚四氟绝缘垫的绝缘性能稳定，刚性好。附图说明图1是本技术的主视结构示意图；图2是本技术的爆炸结构示意图；图3是本技术旋转气缸的控制原理图。图中：1、法兰座；100、阴极电弧源本体；2、阴极座；3、调节套；4、永磁体；5、气动挡板；51、支架杆；52、旋转气缸；53、密封件；531、铜环；532、胶圈；54、屏蔽上板；6、电磁阀；7、继电器；8、PLC；9、触摸屏；10、屏蔽绝缘垫；11、屏蔽套；12、聚四氟绝缘垫；13、磁场微调件；131、磁堵；132、磁杆；14、磁铁座。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1至图3所示，本实施例中提供的带气动挡板的阴极电弧源，包括法兰座1、气动挡板5和阴极电弧源本体100，阴极电弧源本体100固定在法兰座1上，气动挡板5包括支架杆51、驱动支架杆51转动的旋转气缸52、密封件53、以及屏蔽上板54，支架杆51为金属支架杆，旋转气缸52型号为日本SMCCRB2BW10-90S，支架杆51穿过法兰座1，且能够相对法兰座1转动，支架杆51的一端与旋转气缸52固定连接，支架杆51的另一端与屏蔽上板54的外边沿固定连接，屏蔽上板54位于阴极电弧源本体100的上方，支架杆51与法兰座1的接触处通过密封件53密封，密封件53起到密封作用，阴极电弧源本体100包括阴极座2、调节套3、以及永磁体4，阴极座2固定在法兰座1上，调节套3通过阴极座2安装固定在法兰座1的一侧，阴极座2的中部固定有磁铁座14，且磁铁座14位于法兰座1的另一侧，永磁体4的一部分或者全部位于磁铁座14内，且与磁铁座14滑动配合，屏蔽上板54位于调节套3的上方，当镀制一炉后将其它需要镀制的产品放置于工作区，旋转气缸52旋转，通过支架杆51带动屏蔽上板54转动180°挡在阴极靶材前面，先点燃阴极靶材，使阴极靶材燃烧，阴极靶材上面的发黑物质会被燃烧出来然后镀制在屏蔽上板54上，而不是镀制到产品上，产品的底层没有被黑色物质污染，保护了产品的底层。等阴极靶材燃烧一段时间后，旋转气缸52再次旋转，带动屏蔽上板54转动180°离开阴极靶材，然后进行产品的镀制。常规的阴极电弧源生产流程：抽真空约20分钟—镀制黑色产品靶材干净约20分钟—抽真空约20分钟—清洗污染靶材靶材发黑约5分钟—抽真空约20分钟—镀制黑色产品靶材干净约20分钟，采用带气动挡板5的阴极电弧源生产流程：抽真空约20分钟—镀制黑色产品靶材干净约20分钟—抽真空约20分钟—清洗污染靶材靶材发黑约5分钟—镀制黑色产品靶材干净约20分钟，由此可知，采用带气动挡板5的阴极电弧源镀制黑色产品节约了一次抽真空的时间，时间的节约也造就了电费的节约，同时提高生产效率。为了提高密封效果，进一步地，密封件53包括两个铜环531和两个胶圈532，两个铜环531和两个胶圈532交错分布，通过铜环531对胶圈532的与压紧，提高了胶圈532的密封效果。为了自动控制旋转气缸52的动作，进一步地，还包括电磁阀6、继电器7、以及PLC8，电磁阀6为二位五通电磁阀，且型号为亚德客4V410-15DC24V，继电器7为24V继电器，且型号为日本和泉IDECRJ1S-CL-D24，PLC8选用三菱FX3U-128M，电磁阀6与旋转气缸52电性连接，继电器7与电磁阀6电性连接，PLC8与继电器7电性连接，旋转气缸52可以通过压缩空气进行180度的旋转，进而控制屏蔽上板54的180度转动控制。而压缩空气的控制是通过电磁阀6控制压缩空气的通断。而电磁阀6是通过继电器7控制开关，继电器7是连接在PLC8上的，PLC8控制继电器7。为了方便操作，进一步地，还包括触摸屏9，触摸屏9与PLC8电性连接，触摸屏9型号为TPC1561Hi，通过触摸屏9上可以输时间等参数控制PLC8，更本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.带气动挡板的阴极电弧源，包括法兰座(1)和阴极电弧源本体(100)，所述阴极电弧源本体(100)固定在所述法兰座(1)上，其特征在于：还包括气动挡板(5)；所述气动挡板(5)包括支架杆(51)、驱动所述支架杆(51)转动的旋转气缸(52)、密封件(53)、以及屏蔽上板(54)；所述支架杆(51)穿过所述法兰座(1)，且能够相对所述法兰座(1)转动；所述支架杆(51)的一端与所述旋转气缸(52)固定连接；所述支架杆(51)的另一端与所述屏蔽上板(54)的外边沿固定连接；所述屏蔽上板(54)位于所述阴极电弧源本体(100)的上方；所述支架杆(51)与所述法兰座(1)的接触处通过所述密封件(53)密封。

【技术特征摘要】
1.带气动挡板的阴极电弧源，包括法兰座(1)和阴极电弧源本体(100)，所述阴极电弧源本体(100)固定在所述法兰座(1)上，其特征在于：还包括气动挡板(5)；所述气动挡板(5)包括支架杆(51)、驱动所述支架杆(51)转动的旋转气缸(52)、密封件(53)、以及屏蔽上板(54)；所述支架杆(51)穿过所述法兰座(1)，且能够相对所述法兰座(1)转动；所述支架杆(51)的一端与所述旋转气缸(52)固定连接；所述支架杆(51)的另一端与所述屏蔽上板(54)的外边沿固定连接；所述屏蔽上板(54)位于所述阴极电弧源本体(100)的上方；所述支架杆(51)与所述法兰座(1)的接触处通过所述密封件(53)密封。2.根据权利要求1所述的带气动挡板的阴极电弧源，其特征在于：所述阴极电弧源本体(100)包括阴极座(2)、调节套(3)、以及永磁体(4)，所述阴极座(2)固定在法兰座(1)上，所述调节套(3)通过阴极座(2)安装固定在法兰座(1)的一侧，所述阴极座(2)的中部固定有磁铁座(14)，且所述磁铁座(14)位于所述法兰座(1)的另一侧，所述永磁体(4)的一部分或者全部位于所述磁铁座(14)内，且与所述磁铁座(14)滑动配合；所述屏蔽上板(54)位于所述调节套(3)的上方。3.根据权利要求1所述的带气动挡板的阴极电弧源，其特征在于：所述密封件(53)包括两个铜环(531)和两个胶圈(532)；两个所述铜环(531)和两个所述胶圈(532)交错分布。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王汉春，张金兴，罗来山，
申请(专利权)人：金山莱宝厦门科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35