下载带有报警装置的数控真空镀膜机的技术资料

文档序号:21333508

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本实用新型公开了带有报警装置的数控真空镀膜机,属于镀膜机领域,带有报警装置的数控真空镀膜机包括镀膜室和油扩散泵,油扩散泵与镀膜室的底端固定连接,还包括用于冷却油扩散泵的冷却组件、以及控制器,冷却组件上设有防回油报警件,防回油报警件与控制器电...
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