尾气处理设备制造技术

该实用新型专利技术涉及一种尾气处理设备，包括：离心部，包括进气口，用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气，并使通入的尾气发生离心旋转，从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落；处理部，与所述离心部连接，用于处理经离心旋转后掉落固形物杂质后的尾气。本实用新型专利技术中的尾气处理设备具有离心部，所述离心部包括一进气口，当往所述尾气处理设备中通入气体时，所述离心部会使被通入的气体发生离心旋转，使质量较大的固形物杂质掉落，从而可以完成对气体中的固形物杂质的处理，减少收集部中的废水更换处理的次数，降低尾气处理所需成本。

Exhaust gas treatment equipment

The utility model relates to an exhaust gas treatment equipment, which comprises a centrifugal part, including an air inlet, for feeding the tail gas to be treated into the tail gas treatment equipment and centrifugal rotation of the tail gas to cause solid impurities entrained in the tail gas to fall off; and a processing part, which is connected with the centrifugal part, is used for treating the tail gas after falling solid impurities after centrifugal rotation. The tail gas treatment equipment in the utility model has a centrifugal part, which includes an air inlet. When the gas is fed into the tail gas treatment equipment, the centrifugal part will centrifugally rotate the gas to be fed, so that the solid impurities with larger mass fall off, so as to complete the treatment of the solid impurities in the gas and reduce the waste water replacement treatment in the collection part. Number of times to reduce the cost of tail gas treatment.

【技术实现步骤摘要】
尾气处理设备
本技术涉及尾气处理领域，具体涉及一种尾气处理设备。
技术介绍
尾气处理设备是减少半导体工艺中排放尾气的有害成分的一种设备，能够减少半导体工艺中排放的尾气对环境的危害，能够达到保护环境和净化空气的效果。在现有技术中，对尾气进行处理时，由于尾气中通常夹带有固形物杂质，而尾气处理设备对尾气中的固形物杂质的处理效率不高，固形物杂质会直接影响尾气处理设备的使用时长，影响使用尾气处理设备进行尾气处理时所需的物力成本和人力成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种尾气处理设备，具有较好的固形物杂质处理效果，且能够减小尾气处理所需的物力成本和人力成本。为了解决上述技术问题，本技术中提供了一种尾气处理设备，包括：离心部，包括进气口，用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气，并使通入的尾气发生离心旋转，从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落；处理部，与所述离心部连接，用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。可选的，所述离心部包括一锥形腔体，所述锥形腔体沿竖直方向倒置。可选的，所述进气口设置于所述锥形腔体的上半部的侧壁上，且所述进气口内设置有导流板，所述导流板与所述锥形腔体的腔体壁相切，用于导流，使从所述进气口进入的尾气的流动方向与所述锥形腔体的腔体壁相切，且尾气的流动方向朝向所述锥形腔体的尖端。可选的，所述锥形腔体内设置有管道结构，所述管道结构一端连通至所述锥形腔体下半部，另一端连通至所述处理部。可选的，所述锥形腔体下方设置有收集袋，与所述锥形腔体连通，用于收集所述锥形腔体的尾气中的固形物杂质。可选的，所述处理部包括第一处理单元，连通至所述离心部，包括燃烧腔或吸附腔中的至少一种，用于对经过离心旋转后掉落固形物杂质后的尾气进行初步处理。可选的，所述燃烧腔内充入有天然气和助燃气体。可选的，所述吸附腔内放置有活性炭、沸石分子筛和活性氧化铝中的至少一种。可选的，所述处理部还包括第二处理单元，连通至所述第一处理单元，用于处理经所述第一处理单元初步处理后排出的可溶性气体。可选的，所述第二处理单元包括水洗腔和存储箱，所述水洗腔和存储箱相互连通，且所述存储箱用于存储能够溶解所述可溶性气体的液体；还包括一喷淋单元，包括相互连通的喷头和喷淋管，所述喷头设置于所述水洗腔内，所述喷淋管连接至所述存储箱。本技术中的尾气处理设备具有离心部，所述离心部包括一进气口，当往所述尾气处理设备中通入气体时，所述离心部会使被通入的气体发生离心旋转，使质量较大的固形物杂质掉落，从而可以完成对气体中的固形物杂质的处理，减少收集部中的废水更换处理的次数，降低尾气处理所需成本。附图说明图1为本技术的一种具体实施方式中的尾气处理设备的结构示意图。图2为将图1中的虚线框内的部分放大后的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术提出的一种尾气处理设备进行进一步详细说明。请参阅图1和图2,，其中图1为本技术的一种具体实施方式中的尾气处理设备的结构示意图，图2为将图1中的虚线框内的部分放大后的结构示意图。在该具体实施方式中，所述尾气处理设备包括离心部101，所述离心部101包括进气口105，用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气，并使通入的尾气发生离心旋转，从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落；处理部100，与所述离心部101连通，用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。所述离心部101包括一锥形腔体109，所述锥形腔体109沿竖直方向倒置，所述锥形腔体109的尖端处向下放置，所述锥形腔体109的底面向上放置。在其他的具体实施方式中，也可以设置其他可供尾气进行离心运动的腔体，使尾气在通入锥形腔体109后，尾气中夹带的固形物杂质与锥形腔体109的腔体壁发生碰撞后掉落，从而实现尾气和尾气中夹带的固形物杂质的分离。实际上，尾气在锥形腔体109内进行离心运动，并不仅仅依赖于锥形腔体109的形状，还依赖于进气口105处设置的导流板106。通过导流板106使得尾气在进入所述锥形腔体109时，具有在锥形腔体109内做离心运动的条件。在一种具体实施方式中，所述进气口105设置于所述锥形腔体109的上半部的侧壁上，使尾气进入锥形腔体109后有足够长的运动区域，能够从锥形腔体109的上半部运动到下半部，以实现足够多的碰撞，尽可能多的将尾气中夹带的固形物杂质分离出来。实际上，本领域的技术人员也可设置所述进气口105于所述锥形腔体109的其他位置，只需满足使所述尾气具有足够多的运动空间，能够发生足够多的碰撞，以尽可能多的将尾气中夹带的固形物杂质分离出来即可。在一种具体实施方式中，所述进气口105内设置有导流板106，所述导流板106与所述锥形腔体109的腔体壁相切，用于导流，使从所述进气口105进入的尾气的流动方向与所述锥形腔体109的腔体壁相切，尾气的流动方向朝向所述锥形腔体109的尖端，与所述锥形腔体109的中心轴呈一非直角夹角。设置能够使尾气的流动方向与所述锥形腔体109的腔体壁相切，并朝向所述锥形腔体109的尖端，使得尾气在进入所述锥形腔体109后，运动方向既与所述锥形腔体109的腔体壁相切，又朝向所述锥形腔体109的尖端，在满足与所述锥形腔体109的腔体壁发生碰撞后将尾气中的固形物杂质分离出来的需求的基础上，还能够控制尾气的运动半径逐渐减小，使尾气能够在运动半径收缩到一定程度后形成二次涡流，向所述锥形腔体109的上半部运动，便于对分离了固形物杂质的尾气进行进一步处理。在一种具体实施方式中，所述导流板106耐酸碱腐蚀，使所述导流板106难以被带有腐蚀性的尾气腐蚀毁损。本领域的技术人员可以根据需要设置所述导流板106的制备材料，在选择过程中需要满足耐腐蚀的特性。在一种具体实施方式中，所述锥形腔体109内设置有管道结构以连通锥形腔体109和处理部100。在一种具体实施方式中，所述管道结构一端连通至所述锥形腔体109下半部，另一端连通至所述处理部100，使得进入到所述锥形腔体109中的尾气必须要运动到所述锥形腔体109下半部后，才能通过所述管道结构进入到所述处理部100，从而使尾气中夹带的固形物杂质与腔体壁发生充分的碰撞，以获取更好的固形物杂质分离效果。在图2所示的具体实施方式中，所述管道结构为圆筒112，所述圆筒112中空，且一端连通至锥形腔体109下半部，即尖端处，一端连通至所述处理部100。将所述管道结构设置为圆筒112，不会存在棱角阻碍尾气在锥形腔体109中的离心运动，还可进一步的增加尾气发生碰撞的区域的面积，使得尾气与锥形腔体109的腔体壁或圆筒112发生碰撞的概率也提高，由于固形物杂质掉落是由于尾气与所述锥形腔体109的腔体壁或圆筒112发生碰撞所致，因此固形物杂质掉落的更完全，能够获取到更好的固形物杂质分离效果。在实际的使用过程中，本领域的技术人员也可以设置所述管道结构呈其他形状，如方筒，但需要注意的是，所述管道结构所呈的形状优选为不会阻碍尾气在所述锥形腔体109中的离心运动的形状。在一种具体实施方式中，本领域的技术人员还可根据需要设置所述管道结构连通至所述锥形腔体109的一端在所述锥形腔体109中所处的位置。具体地，所述管道结构连通至所述锥形腔体109的一端在所述锥形腔体109中所处的位置应当使得尾气经过充分的碰撞后，才本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尾气处理设备，其特征在于，包括：离心部，包括进气口，用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气，并使通入的尾气发生离心旋转，从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落；处理部，与所述离心部连接，用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理设备，其特征在于，包括：离心部，包括进气口，用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气，并使通入的尾气发生离心旋转，从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落；处理部，与所述离心部连接，用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。2.根据权利要求1所述的尾气处理设备，其特征在于，所述离心部包括一锥形腔体，所述锥形腔体沿竖直方向倒置。3.根据权利要求2所述的尾气处理设备，其特征在于，所述进气口设置于所述锥形腔体的上半部的侧壁上，且所述进气口内设置有导流板，所述导流板与所述锥形腔体的腔体壁相切，用于导流，使从所述进气口进入的尾气的流动方向与所述锥形腔体的腔体壁相切，且尾气的流动方向朝向所述锥形腔体的尖端。4.根据权利要求2所述的尾气处理设备，其特征在于，所述锥形腔体内设置有管道结构，所述管道结构一端连通至所述锥形腔体下半部，另一端连通至所述处理部。5.根据权利要求2所述的尾气处理设备，其特征在于，所述锥形腔体下方设置有收集袋，与所述锥形腔体连通...

【专利技术属性】
技术研发人员：金鑫，徐科，阚保国，刘家桦，叶日铨，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32