一种硅烷尾气处理设备制造技术

本实用新型专利技术提出了一种硅烷尾气处理设备，包括支撑架和设置在支撑架顶部的反应罐，所述反应罐的入口端连接有多根硅烷尾气进气管，所述硅烷尾气进气管上均设置有压缩空气接口，所述反应罐的出气口连接粉尘分离器，所述粉尘分离器的顶部设置有出风管，所述出风管的侧面设有压缩空气充气口和氮气充气口，所述粉尘分离器的底部通过蝶阀连接支撑架的下部的粉尘收集桶。本实用新型专利技术的有益效果为：通过反应罐、粉尘分离器和粉尘收集筒配合使用，方便就近处理PECVD机台尾气，可以实现不停机进行清灰的操作，不会造成堵塞；安全又简便，反应产生的粉尘在设备旁边就近处理了，节省成本；操作维护方便，废气处理稳定、高效、彻底。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及废气处理领域，特别涉及到一种用于处理PECVD或者背钝化设备尾气的硅烷尾气处理设备。
技术介绍
光伏行业电池片生产程PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition-----等离子体增强化学气相沉积法)环节中，会产生含有硅烷的尾气。硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体，该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾，因此必须经过处理后才能排入大气。传统的硅烷尾气处理方法是采用初步燃烧+洗涤塔的方式，目前市面上流行的方案为把PECVD和被钝化设备产生的硅烷尾气，通过Φ65的不锈钢小管接到室外，先进入应急燃烧筒进行预处理，然后再到洗涤塔内进行洗涤处理；这样造成以下几个不便：①大量的小管施工难度大，材料浪费大，影响空间管理；②小管容易堵塞，要经常停机清理；③洗涤塔也经常发生堵塞(因硅烷反应产生大量的二氧化硅粉末，在洗涤塔中累积；造成洗涤塔处理效率降低)。正因为上述3点，造成机台每个月要停机清理，浪费时间。降低了设备的利用效率。有很高的危险性和处理不稳定性。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种硅烷尾气处理设备，就近处理PECVD或者背钝化设备产生的硅烷尾气，实现不停机进行清灰的操作，不会造成堵塞，废气处理稳定、高效。本技术的解决方案是这样实现的：一种硅烷尾气处理设备，用于PECVD机台尾气的处理，包括支撑架和设置在支撑架顶部的反应罐，所述反应罐的入口端连接有多根硅烷尾气进气管，所述硅烷尾气进气管上均设置有压缩空气接口，所述反应罐的出气口连接粉尘分离器，所述粉尘分离器的顶部设置有出风管，所述出风管的侧面设有压缩空气充气口和氮气充气口，所述粉尘分离器的底部通过蝶阀连接支撑架的下部的粉尘收集桶。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述硅烷尾气进气管通过KF法兰连接反应罐入口。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述反应罐的出气口通过KF法兰连接粉尘分离器。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述KF法兰为应用在真空系统中的一种快卸法兰。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述出风管的上方出口处设置有风阀。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述粉尘收集桶的底部设置有若干滑动轮。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述粉尘收集桶的顶部通过多个旋扣连接支撑架的下部。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述粉尘收集桶上位于所述蝶阀一侧设有气压开关阀。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述支撑架的腿部设有可调节支撑架高度的调节腿。本技术的另一技术方案在于在上述基础之上，所述支撑架的中部设置有两个玻璃流量计，所述两个玻璃流量计分别测量压缩空气充气口压缩空气的流量和氮气充气口氮气的流量。本技术的有益效果为：本技术引入一种硅烷尾气处理设备，通过反应罐、粉尘分离器和粉尘收集筒配合使用，方便就近处理PECVD机台尾气，强有力的保证尾气排放的安全性，可以实现不停机进行清灰的操作，不会造成堵塞；安全又简便，反应产生的粉尘在设备旁边就近处理了，节省成本；操作维护方便，废气处理稳定、高效、彻底。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。图1是根据本技术一种实施例所述的一种硅烷尾气处理设备主视图；图2是根据本技术一种实施例所述的一种硅烷尾气处理设备俯视图；图3是根据本技术一种实施例所述的一种硅烷尾气处理设备左视图；图4是根据本技术一种实施例所述的一种硅烷尾气处理设备采用的反应罐结构图；图5为图4中反应罐入口结构图；图6为图1所示硅烷尾气处理设备的硅烷尾气进气管结构示意图。图中：1、支撑架；2、反应罐；3、粉尘分离器；4、粉尘收集桶；5、硅烷尾气进气管；6、压缩空气接口；7、出风管；8、压缩空气充气口；9、氮气充气口；10、风阀；11、蝶阀；12、旋扣；13、滑动轮；14、调节腿；15、玻璃流量计；16、KF法兰；17、气压开关阀。具体实施方式下面结合附图对本技术进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。此外，本领域技术人员根据本文件的描述，可以对本文件中实施例中以及不同实施例中的特征进行相应组合。本技术实施例如下，请参见图1-6所示，一种硅烷尾气处理设备，用于PECVD机台尾气的处理，包括支撑架1和设置在支撑架顶部的反应罐2，所述反应罐1入口端连接有多根硅烷尾气进气管5，所述硅烷尾气进气管5上均设置有压缩空气接口6，所述反应罐的出气口连接粉尘分离器3，所述粉尘分离器3顶部设置有出风管7，所述出风管7侧面设有压缩空气充气口8和氮气充气口9，所述粉尘分离器3底部通过蝶阀11连接支撑架的下部的粉尘收集桶4。如此，在反应罐2中进行真空泵尾气与压缩空气接口6通入的压缩空气中的氧气充分反应，最大限度把硅烷气体处理掉；硅烷与氧气在常温下就会充分反应生成粉尘二氧化硅和水蒸气。通过反应罐出气口连接粉尘分离器3进行气体与粉尘的分离，粉尘分离器3分离的粉尘通过氮气充气口9充入的氮气则用来吹散到粉尘收集桶4，不让其粘到粉尘分离器3。可以实现不停机进行清灰的操作，不会造成堵塞。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，这样，如图5或图6所示，所述硅烷尾气进气管5通过KF法兰16连接反应罐2入口。如此，硅烷尾气进气管5与反应罐2紧密连接，防止漏尘和漏气以免影响生产。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，所述反应罐2出口通过KF法兰16连接粉尘分离器3。这样，如图2所示，反应罐2与粉尘分离器3紧密连接，防止漏尘和漏气以免影响生产。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，所述KF法兰16为应用在真空系统中的一种快卸法兰。拆卸方便，连接处气密性好。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，所述出风管7上方出口设置有风阀10。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，所述粉尘收集桶4底部设置有若干滑动轮13。这样，如图1所示，通过滑动轮13非常方便拖出粉尘收集桶4，已完成清尘工作。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，所述粉尘收集桶4顶端通过多个旋扣12连接支撑架1下部。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，所述粉尘收集桶4上位于所述蝶阀11一侧设有气压开关阀17。该气压开关阀17起到泄压作用。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，所述支撑架1腿部设有可调节支撑架高度的调节腿14。如此能够根据实际操作需要随时调节支撑架高度，省时省力，也减少了安全事故。在上述实施例的基础上，本技术另一实施例中，所述支撑架的中部设置有两个玻璃流量计15，所述两个玻璃流量计15分别测量压缩空气充气口8压缩空气的流量和氮气充气口9氮气的流量。在具体使用时，在PECVD机台或者背钝化设备旁边通过多根硅烷尾气进气管5就近连接反应罐2入口，先把硅烷气体送到反应罐2；再通过硅烷尾气进气管5上设置有压缩空气接口6的小管上通入压缩空气，利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅烷尾气处理设备，包括支撑架和设置在支撑架顶部的反应罐，其特征在于，所述反应罐的入口端连接有多根硅烷尾气进气管，所述硅烷尾气进气管上均设置有压缩空气接口，所述反应罐的出气口连接粉尘分离器，所述粉尘分离器的顶部设置有出风管，所述出风管的侧面设有压缩空气充气口和氮气充气口，所述粉尘分离器的底部通过蝶阀连接支撑架的下部的粉尘收集桶；所述支撑架的中部设置有两个玻璃流量计，分别测量压缩空气充气口的压缩空气流量和氮气充气口的氮气流量。

【技术特征摘要】
1.一种硅烷尾气处理设备，包括支撑架和设置在支撑架顶部的反应罐，其特征在于，所述反应罐的入口端连接有多根硅烷尾气进气管，所述硅烷尾气进气管上均设置有压缩空气接口，所述反应罐的出气口连接粉尘分离器，所述粉尘分离器的顶部设置有出风管，所述出风管的侧面设有压缩空气充气口和氮气充气口，所述粉尘分离器的底部通过蝶阀连接支撑架的下部的粉尘收集桶；所述支撑架的中部设置有两个玻璃流量计，分别测量压缩空气充气口的压缩空气流量和氮气充气口的氮气流量。2.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气处理设备，其特征在于，所述硅烷尾气进气管通过KF法兰连接反应罐的入口。3.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气处理设备，其特征在于，所述反应罐的出气口通...

【专利技术属性】
技术研发人员：范余旺，
申请(专利权)人：范余旺，
类型：新型
国别省市：江苏;32