一种炉管尾气处理管道制造技术

本发明专利技术公开了一种炉管尾气处理管道，在外管内并列设有第一、第二内管，第一、第二内管独立设有加热元件，并可通过设于其两端的分路切换阀的切换择一地与外部导通，外管两端连接有接头，接头独立设有加热元件，第一、第二内管分别设有进水口和出水口，用于进出清洗介质；本发明专利技术可有效减少副产物在管道内的堆积，降低管道堵塞的几率，保护炉管中工艺产品的安全性；并且自带清洗的功能可使得管道在安装后无须经常更换和清洗，减少了设备的宕机时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体工艺设备
，更具体地，涉及一种可防止堵塞的炉管尾气处理管道。
技术介绍
炉管普遍应用于进行半导体加工中的沉积工艺。其中，低压氮化硅沉积炉管工艺是使用二氯化硅气体与氨气反应，生成需要的氮化硅，同时还将生成副产物氯化氨。在进行低压氮化硅沉积时，炉管工艺腔的温度一般都会超过600℃，因此生成的副产物氯化氨在其中不会发生凝固现象。但炉管尾气处理时使用的通常是不锈钢尾气处理管道，并以在管道外面包裹加热带的方式作为对管道的加热手段，使管道内温度保持在一般150℃以上，由于存在较明显的温差，所以还是会有部分氯化氨沉积在管道壁上。由于半导体制造工艺的特殊要求，所有工艺设备需要放置在洁净室内，而辅助设备比如真空泵以及除害桶等为了节省洁净室空间，一般放置在另外一个楼层。这就需要比较长的尾气排放管道来连接工艺设备以及真空泵。由于尾气处理管道比较长，按照上述目前的加热手段，无法全长均匀地加热管道。尤其是在管道的接头处，由于该部位管径(口径)较小，极易造成堵塞。管道一旦堵塞，真空泵就无法继续工作，且会使尾气处理管道内的副产物等颗粒倒灌入炉管工艺腔，使得产品的品质下降。为防止管道堵塞本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉管尾气处理管道，其特征在于，包括：外管；第一、第二内管，并列设于外管内，其两端管壁与外管内壁密封连接，所述第一内管设有第一加热元件，所述第二内管设有第二加热元件；两个分路切换阀，分设于所述第一、第二内管两端，用于使所述第一、第二内管以择一方式与外部导通；两个接头，分别连接在所述外管两端，所述接头设有第三加热元件；第一进水口和第一出水口，分设于所述第一内管两端，用于通过第一进水口向所述第一内管中通入清洗介质，并通过第一出水口排出；第二进水口和第二出水口，分设于所述第二内管两端，用于通过第二进水口向所述第二内管中通入清洗介质，并通过第二出水口排出。

【技术特征摘要】
1.一种炉管尾气处理管道，其特征在于，包括：外管；第一、第二内管，并列设于外管内，其两端管壁与外管内壁密封连接，所述第一内管设有第一加热元件，所述第二内管设有第二加热元件；两个分路切换阀，分设于所述第一、第二内管两端，用于使所述第一、第二内管以择一方式与外部导通；两个接头，分别连接在所述外管两端，所述接头设有第三加热元件；第一进水口和第一出水口，分设于所述第一内管两端，用于通过第一进水口向所述第一内管中通入清洗介质，并通过第一出水口排出；第二进水口和第二出水口，分设于所述第二内管两端，用于通过第二进水口向所述第二内管中通入清洗介质，并通过第二出水口排出。2.根据权利要求1所述的炉管尾气处理管道，其特征在于，所述第一-第三加热元件通过第一-第三温控模块进行独立加热。3.根据权利要求1所述的炉管尾气处理管道，其特征在于，所述第一、第二进水口和第一、第二出水口分设有控制阀。4.根据权利要求1所述的炉管尾气处理管道，其特征在于，还包括一控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：张乐成，王智，苏俊铭，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31