晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统技术方案

本发明专利技术涉及一种晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统。该晶圆盒的检测方法，包含以下步骤：检测步骤：利用多个检测模块对预定位置进行检测，并利用处理模块将多个检测模块之检测结果转换为多个检测数值；彼此相邻设置的两个检测模块，其检测范围的部分相互重叠。判断步骤：通过处理模块依据多个检测数值，判断晶圆盒的预定位置是否设置有辅助构件；当处理模块判断大于一半的检测数值落在第一预定数值区间时，处理模块则判定晶圆盒的预定位置设置有辅助构件；当处理模块判断大于一半的检测数值落在第二预定数值区间时，处理模块则判定晶圆盒的预定位置没有设置辅助构件。

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统
本专利技术涉及一种检测方法及检测系统，特别是一种用于检测晶圆盒外部是否设置有辅助构件的晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统。
技术介绍
晶圆在制作过程中，需要在不同的制作站点之间移动，因此，常会将晶圆设置于一晶圆盒中，以便于将晶圆运送至特定的制作站。为了方便晶圆盒的运送，或是方便相关人员对晶圆盒的操作，相关厂商会于晶圆盒外部设置有可拆卸的辅助构件(例如把手结构或是相关的卡合结构等)，借此便于特定制作站的相关机械手臂或是人员使用。是以，在晶圆盒运送的各种情况下，正确地判断晶圆盒上预定位置是否应该设置有辅助构件，成为了重要的课题。在实际的应用中，对于判断晶圆盒上的辅助构件的设置，多是利用人工的方式进行，如此容易发生遗漏的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统，用以改善现有技术中，利用人工的方式进行晶圆盒的预定位置是否是设置有辅助构件的判断，容易发生有遗漏的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供一种晶圆盒的检测方法，其用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测方法包含以下步骤：一检测步骤：利用多个检测模块对所述预定位置进行检测，并利用一处理模块将多个所述检测模块之检测结果转换为多个检测数值；其中，彼此相邻设置的两个所述检测模块，其检测范围的部分相互重叠；一判断步骤：通过所述处理模块依据多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件；其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置没有设置所述辅助构件。优选地，于所述判断步骤中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值未落在所述第一预定数值区间或所述第二预定数值区间时，所述处理模块则判定检测失败，所述处理模块则选择性地控制多个检测模块再次执行所述检测步骤。优选地，于所述检测步骤中，多个所述检测模块检测所述预定位置后将对应产生多个检测信号，所述处理模块接收多个所述检测信号后，能将多个所述检测信号进行一标准化操作，以使多个所述检测信号转换为多个所述检测数值。优选地，于所述标准化操作中，所述处理模块是先将多个所述检测信号转换为多个初始数值后，再依据一第一数值及一第二数值，并利用一标准化公式，将所述初始数值转换为所述检测数值，所述标准化公式如下：优选地，于所述检测步骤前还包含有一信息获取步骤：利用一信息获取模块，获取所述晶圆盒的一预定信息；于所述判断步骤中，所述处理模块依据所述预定信息及多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件。为了实现上述目的，本专利技术还提供一种晶圆盒的检测系统，其用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测系统包含：一载台，其用以承载所述晶圆盒；多个检测模块，其能分别对所述预定位置进行检测，且彼此相邻设置的两个所述检测模块的检测范围的部分相互重叠；一处理模块，其电性连接多个所述检测模块，且所述处理模块能将多个所述检测模块所检测结果转换为多个检测数值，且所述处理模块能依据多个所述检测数值，以判断所述晶圆盒的所述预定位置，是否设置有所述辅助构件；其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则对应判定所述晶圆盒的所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则对应判定所述晶圆盒的所述预定位置没有设置所述辅助构件。优选地，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值未落在所述第一预定数值区间或所述第二预定数值区间时，所述处理模块则判定至少一个所述检测模块检测失败，所述处理模块则选择性地控制多个所述检测模块再次对所述预定位置进行检测。优选地，所述晶圆盒的检测系统还包含有多个辅助检测模块，各个所述辅助检测模块电性连接所述处理模块，各个所述辅助检测模块能对所述晶圆盒的另一预定位置进行检测；所述处理模块能依据各个所述辅助检测模块的检测结果，判断所述晶圆盒的另一预定位置是否设置有所述辅助构件。优选地，所述晶圆盒的检测系统还包含有一信息获取模块，其能获取所述晶圆盒的一预定信息，并对应产生一获取信息，所述信息获取模块电性连接所述处理模块，所述处理模块能接受所述获取信息，并依据所述获取信息及多个所述检测模块对所述预定位置的检测结果，判断所述预定位置是否设置有所述辅助构件。优选地，所述处理模块能依据所述获取信息，查找一储存单元所储存的多笔预存信息，而所述处理模块能依据其中一笔所述预存信息，及多个所述检测模块对所述预定位置的检测结果，判断所述预定位置是否设置有所述辅助构件。优选地，多个所述检测模块检测所述预定位置后将对应产生多个检测信号，所述处理模块接收多个所述检测信号后，能将多个所述检测信号进行一标准化操作，以使多个所述检测信号转换为多个所述检测数值。优选地，于所述标准化操作中，所述处理模块是先将多个所述检测信号转换为多个初始数值后，再依据一第一数值及一第二数值，并利用一标准化公式，将所述初始数值转换为所述检测数值，所述标准化公式如下优选地，各个所述检测模块包含多个发射单元及多个接收单元，多个所述发射单元设置于所述载台，多个所述接收单元对应位于所述预定位置的上方，多个所述接收单元用以接收多个发射单元所发出的光束；其中，多个所述发射单元沿一轴线彼此间隔地并排设置，多个所述接收单元沿另一轴线彼此间隔地并排设置。为了实现上述目的，本专利技术还提供一种晶圆盒的检测方法，其用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测方法包含以下步骤：提供上述的晶圆盒的检测系统；利用所述处理模块控制多个所述检测模块对所述预定位置进行检测，并利用所述处理模块将多个所述检测模块之检测结果转换为多个检测数值；使所述处理模块依据多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件；其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置没有设置所述辅助构件。本专利技术的有益效果可以在于：本专利技术的晶圆盒的检测系统及晶圆盒的检测方法，可以准确地判断晶圆盒预定位置是否设置有辅助构件，即使在少部分的检测模块无法正确的进行检测时，本专利技术的晶圆盒的检测系统及晶圆盒的检测方法仍可正确地判断出晶圆盒的预定位置是否设置有辅助构件。附图说明图1、2为本专利技术的晶圆盒的检测系统的示意图。图3为本专利技术的晶圆盒的检测系统局部上视图。图4A、图4B、图4C为晶圆盒设置有不同辅助构件的示意图。图5为图1的上视图。图6为图1的侧视图。图7为本专利技术的晶圆盒的检测系统的方框示意图。图8为本专利技术的晶圆盒的检测系统的另一实施例的示意图。图9为本专利技术的晶圆盒的检测方法的流程示意图。图10为本专利技术的晶圆盒的检测方法的另一流程示意图。具体实施方式请一并参阅图1及图2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆盒的检测方法，其特征在于，所述晶圆盒的检测方法用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测方法包含以下步骤：一检测步骤：利用多个检测模块对所述预定位置进行检测，并利用一处理模块将多个所述检测模块之检测结果转换为多个检测数值；其中，彼此相邻设置的两个所述检测模块，其检测范围的部分相互重叠；以及一判断步骤：通过所述处理模块依据多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件；其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置没有设置所述辅助构件。

【技术特征摘要】
2017.11.10 TW 1061389991.一种晶圆盒的检测方法，其特征在于，所述晶圆盒的检测方法用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测方法包含以下步骤：一检测步骤：利用多个检测模块对所述预定位置进行检测，并利用一处理模块将多个所述检测模块之检测结果转换为多个检测数值；其中，彼此相邻设置的两个所述检测模块，其检测范围的部分相互重叠；以及一判断步骤：通过所述处理模块依据多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件；其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置没有设置所述辅助构件。2.根据权利要求1所述的晶圆盒的检测方法，其特征在于，于所述判断步骤中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值未落在所述第一预定数值区间或所述第二预定数值区间时，所述处理模块则判定检测失败，所述处理模块则选择性地控制多个检测模块再次执行所述检测步骤。3.根据权利要求1所述的晶圆盒的检测方法，其特征在于，于所述检测步骤中，多个所述检测模块检测所述预定位置后将对应产生多个检测信号，所述处理模块接收多个所述检测信号后，能将多个所述检测信号进行一标准化操作，以使多个所述检测信号转换为多个所述检测数值。4.根据权利要求3所述的晶圆盒的检测方法，其特征在于，于所述标准化操作中，所述处理模块是先将多个所述检测信号转换为多个初始数值后，再依据一第一数值及一第二数值，并利用一标准化公式，将所述初始数值转换为所述检测数值，所述标准化公式如下：5.根据权利要求1所述的晶圆盒的检测方法，其特征在于，于所述检测步骤前还包含有一信息获取步骤：利用一信息获取模块，获取所述晶圆盒的一预定信息；于所述判断步骤中，所述处理模块依据所述预定信息及多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件。6.一种晶圆盒的检测系统，其特征在于，所述晶圆盒的检测系统用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测系统包含：一载台，其用以承载所述晶圆盒；多个检测模块，其能分别对所述预定位置进行检测，且彼此相邻设置的两个所述检测模块的检测范围的部分相互重叠；一处理模块，其电性连接多个所述检测模块，且所述处理模块能将多个所述检测模块所检测结果转换为多个检测数值，且所述处理模块能依据多个所述检测数值，以判断所述晶圆盒的所述预定位置，是否设置有所述辅助构件；其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则对应判定所述晶圆盒的所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则对应判定所述晶圆盒的所述预定位置没有设置所述辅助构件。7.根据权利要求6所述的晶圆盒的检...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡政焜，施英汝，
申请(专利权)人：环球晶圆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71