【技术实现步骤摘要】
一种ICP设备残气抽风装置
本技术涉及生产pss的干法蚀刻设备领域，具体涉及一种ICP设备残气抽风装置。技术背景PSS就是在平片蓝宝石衬底上用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，使平片蓝宝石衬底上产生很多图形，以此来提高LED的发光效率。ICP设备干法蚀刻技术，是在真空密闭的PMChamber内，通过电极将BCL3气体电离，电离出的离子轰击蓝宝石表面，以此来产生需要的图形。这样，随着生产的进行，PMChamber内就会有BCL3气体残留，必要的设备保养或故障处理，在开PMChamber时，BCL3气体溢出，对作业者产生伤害。为了减少残气溢出对人身体的伤害，目前，一般做法是通过厂务的酸排气管道以及接触式风机，可以抽走少量残气。但是，酸性气体对风机有腐蚀性，减少风机使用寿命。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足，本技术提供了一种ICP设备残气抽风装置，以解决现有技术中酸性气体对风机有腐蚀性，减少风机使用寿命的问题。为解决上述问题，本技术采取如下技术方案：一种ICP设备残气抽风装置，包括立风管，水平风管和风机，所述立风管下端与ICP设备...
【技术保护点】
1.一种ICP设备残气抽风装置，其特征在于：包括立风管，水平风管和风机，所述立风管下端与ICP设备的出气口连接，其上端连接在所述水平风管下侧壁上且内腔连通，所述风机安装在所述水平风管的进风口上，启动所述风机，其能够将进入所述水平管中残气从所述水平风管的出风口带出。
【技术特征摘要】
1.一种ICP设备残气抽风装置，其特征在于：包括立风管，水平风管和风机，所述立风管下端与ICP设备的出气口连接，其上端连接在所述水平风管下侧壁上且内腔连通，所述风机安装在所述水平风管的进风口上，启动所述风机，其能够将进入所述水平管中残气从所述水平风管的出风口带出。2.根据权利要求1所述的一种ICP设备残气抽风装置，其特征在于：所述风机吹风端与所述水平风管的进风口密封固定连接。3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：权亮亮，丁建峰，于玉斋，魏明德，
申请(专利权)人：徐州同鑫光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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