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本实用新型公开了一种ICP设备残气抽风装置，包括立风管，水平风管和风机，所述立风管下端与ICP设备的出气口连接，其上端连接在所述水平风管下侧壁上且内腔连通，所述风机安装在所述水平风管的进风口上，启动所述风机，其能够将进入所述水平管中残气从所...
该专利属于徐州同鑫光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州同鑫光电科技股份有限公司授权不得商用。

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