扫描电子显微镜制造技术

本实用新型专利技术提供一种扫描电子显微镜，包括移动光圈结构，该结构包括：用于调节移动光圈位置的螺旋杆调节机构；移动光圈承载机构，包括支撑架及用于容置移动光圈的承载盒，支撑架具有相对的第一侧及第二侧，第一侧与螺旋杆调节机构密封连接，第二侧具有容置腔，承载盒容置于容置腔内，其中，容置腔的长宽尺寸与承载盒的长宽尺寸适配。通过将移动光圈密封在承载盒内形成整体，如此方便取放，降低了操作难度，减少返工现象，并可快速的完成移动光圈的更换；另外，由于在更换时不需要直接对移动光圈进行操作，降低操作不当时对移动光圈的污染和损伤风险；最后，通过在支撑架上设置容置腔，有效降低操作难度、加快更换操作速度以及提高安装质量。

scanning electron microscope

【技术实现步骤摘要】
扫描电子显微镜
本技术涉及扫描电子显微镜领域，特别是涉及一种扫描电子显微镜中的移动光圈结构。
技术介绍
半导体生产过程中需要对产品的关键尺寸进行量测，以确认关键尺寸的大小是否达到设计要求，目前该量测所使用的是扫描电子显微镜设备。扫描电子显微镜是1965年专利技术的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射，二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。目前，扫描电子显微镜被广泛运用在半导体检测领域，其通过从电子枪射出的一次电子束通过磁透镜聚焦在晶圆表面进行扫描以激发出二次电子，系统通过探测二次电子的强度来分辨晶圆上图形界限并测量出目标图形的大小。在扫描电子显微镜使用过程中会使用到一个移动光圈的部件，该部件的作用是对电子束的大小进行控制从而保证测量的准确性。移动光圈1ˋ是易耗品，每间隔六个月便需要更换，如图1所示，一般存放于透明装置2ˋ中，且重量很轻且很薄。当需要更换时，如图2及图3所示，其更本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电子显微镜，其特征在于，所述扫描电子显微镜包括移动光圈结构，所述移动光圈结构包括：用于调节移动光圈位置的螺旋杆调节机构；移动光圈承载机构，包括支撑架及用于容置所述移动光圈的承载盒，所述支撑架具有相对的第一侧及第二侧，所述第一侧与所述螺旋杆调节机构密封连接，所述第二侧具有容置腔，所述承载盒容置于所述容置腔内，其中，所述容置腔的长宽尺寸与所述承载盒的长宽尺寸适配。

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜，其特征在于，所述扫描电子显微镜包括移动光圈结构，所述移动光圈结构包括：用于调节移动光圈位置的螺旋杆调节机构；移动光圈承载机构，包括支撑架及用于容置所述移动光圈的承载盒，所述支撑架具有相对的第一侧及第二侧，所述第一侧与所述螺旋杆调节机构密封连接，所述第二侧具有容置腔，所述承载盒容置于所述容置腔内，其中，所述容置腔的长宽尺寸与所述承载盒的长宽尺寸适配。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于：所述承载盒中具有容置所述移动光圈的凹槽，所述凹槽的尺寸与所述移动光圈的尺寸适配。3.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜，其特征在于：所述承载盒包括上承载盒及下承载盒，所述上承载盒和/或所述下承载盒的表面设有开槽，所述上承载盒及所述下承载盒连接后，所述开槽形成容置所述移动光圈的所述凹槽。4.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：周雨，李俊杰，李磊，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32