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本实用新型提供一种扫描电子显微镜，包括移动光圈结构，该结构包括：用于调节移动光圈位置的螺旋杆调节机构；移动光圈承载机构，包括支撑架及用于容置移动光圈的承载盒，支撑架具有相对的第一侧及第二侧，第一侧与螺旋杆调节机构密封连接，第二侧具有容置腔，...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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