The utility model discloses a coating equipment, which relates to the technical field of hydrogen detection, and is designed to detect whether hydrogen exists in the transport chamber of the coating equipment. The coating equipment includes: a hydrogen detection device; the hydrogen detection device includes: a detection tube, one end of the detection tube connected with the exhaust pipe; a hydrogen detection element, the other end of the detection tube connected with the hydrogen detection element; a prompting element, the prompting element and the hydrogen detection element electrically connected, and configured to prompt the detection tube to have hydrogen gas. \u3002 The coating equipment provided by the utility model has the function of hydrogen detection.
【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备
本技术涉及氢气检测
，尤其涉及一种具有氢气检测功能的镀膜设备。
技术介绍
现有的镀膜设备，例如：化学气相沉积(CVD)镀膜设备、低压化学气相沉积(LPCVD)镀膜设备、常压化学气相沉积(APCVD)或等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)镀膜设备的运输腔均未设置氢气检测装置，而是利用排气管将运输腔中的气体抽出并直接排放，实际中，运输腔可能会残留反应腔漏出的氢气，氢气受热易燃烧甚至爆炸，若将具有氢气的气体直接排放，会存在安全隐患；氢气在高温环境下易对真空器材造成损坏，减少设备使用寿命。
技术实现思路
本技术的实施例提供一种镀膜设备，主要目的是检测运输腔中是否存有氢气。为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案：一种镀膜设备，所述镀膜设备包括排气管和运输腔，所述排气管与所述运输腔连通，所述镀膜设备还包括：氢气检测装置；所述氢气检测装置包括：检测管，所述检测管的一端与所述排气管连通；氢气检测元件，所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通；提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管内具有氢气。本技术实施例提供的镀膜设备，通过氢...
【技术保护点】
1.一种镀膜设备，所述镀膜设备包括排气管和运输腔，所述排气管与所述运输腔连通，其特征在于，所述镀膜设备还包括：氢气检测装置；所述氢气检测装置包括：检测管，所述检测管的一端与所述排气管连通；氢气检测元件，所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通；提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管内具有氢气。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，所述镀膜设备包括排气管和运输腔，所述排气管与所述运输腔连通，其特征在于，所述镀膜设备还包括：氢气检测装置；所述氢气检测装置包括：检测管，所述检测管的一端与所述排气管连通；氢气检测元件，所述检测管的另一端与所述氢气检测元件连通；提示元件，所述提示元件与所述氢气检测元件电连接，且配置为提示所述检测管内具有氢气。2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述氢气检测元件可拆卸安装在所述排气管上。3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述氢气检测元件通过U型螺栓安装在所述排气管上。4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述氢气检测元件固定在底座上，所述底座通过所述U型螺栓安装在所述排气管上。5.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述氢气检测元件与所述提示元件集成为氢气检测报警...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺涛，
申请(专利权)人：广东汉能薄膜太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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