【技术实现步骤摘要】
电化学测定用室
本专利技术涉及在用于观察试样的电化学变化的电化学测定系统中使用的电化学测定用室(cell)。
技术介绍
知晓燃料电池等中使用的催化剂的合成、活性和劣化的机理在开发新型催化剂上为重要的指南。因此,为了实时地观察作为试样的Pt催化剂等燃料电池用电极催化剂的电化学变化,进行了特别是采用透射型电子显微镜(TEM)原位地观察时使用的电化学测定用室的开发。例如,(日本特开2013-200123)公开了一种电化学测定用室,其由如下构成:由电子束透过性的薄膜和加劲板形成的基板、在基板的薄膜上载置的由金电极和铂电极形成的电极对、在薄膜上包围该电极对的包围框、在用包围框包围的薄膜上的空间将电极对密封的电解液、以及在包围框的上方配置且由电子束透过性的薄膜和加劲板形成的盖;其中,上述盖与上述基板两者的加劲板都是与上述金电极对应的位置被挖空而形成观察窗,使得能够从观察窗观察与金电极相接的试样,并且电子束能够透过对应的观察窗和位于其间的试样。采用该构成,能够同时实现电化学测定和试样观察,例如能够实时地观察Pt催化剂等燃料电池用电极催化剂的电化学变化。图5中示出关联技术的电化学 ...
【技术保护点】
1.电化学测定用室,用于采用透过了观察窗的电子束进行的测定,其特征在于,包含:观察用MEMS芯片和密封用MEMS芯片,其中上述观察用MEMS芯片具有包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体,在上述薄膜上设置工作电极和对电极,上述密封用MEMS芯片是包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体,上述观察用MEMS芯片与上述密封用MEMS芯片间隔地配置,在两者层叠体中的一部分区域中不存在基板,在上述区域中形成包含上述薄膜的观察窗,上述工作电极与两者层叠体中的上述观察窗重叠,并且在上述观察窗上沿着电子束透过的方向具有多个贯通孔。
【技术特征摘要】
2017.10.05 JP 2017-1950241.电化学测定用室,用于采用透过了观察窗的电子束进行的测定,其特征在于,包含:观察用MEMS芯片和密封用MEMS芯片,其中上述观察用MEMS芯片具有包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体,在上述薄膜上设置工作电极和对电极,上述密封用MEMS芯片是包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体,上述观察用MEMS芯片与上述密封用MEMS芯片间隔地配置,在两者层叠体中的一部分区域中不存在基板,在上述区域中形成包含上述薄膜的观察窗,上述工作电极与两者层叠体中的上述观察窗重叠,并且在上...
【专利技术属性】
技术研发人员:长岛真也,五十井俊广,加藤久雄,
申请(专利权)人:丰田自动车株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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