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本发明涉及电化学测定用室。电化学测定用室是用于利用透过了观察窗的电子束进行测定的电化学测定用室，其特征在于，将观察用MEMS芯片与密封用MEMS芯片间隔地配置，该观察用MEMS芯片具有包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，在薄膜上设置了工作电...
该专利属于丰田自动车株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过丰田自动车株式会社授权不得商用。

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