通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器制造技术

一种表面声波(SAW)装置(100)包括：硅衬底(108)；由铌酸锂形成的压电衬底(102)；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的氧化铝层(110)；所述压电衬底上的至少一个电极(104、106)。被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电路(120)可以包括可调谐电阻器(124)和/或电压源(122)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器
本申请大体涉及表面声波装置，并且特定来说涉及用于调谐表面声波装置的系统和方法。
技术介绍
表面声波(SAW)装置是一类微机电系统(MEMS)，其依赖于表面声波的调制来感测物理现象。传感器将输入电信号转换成机械波，机械波不同于电信号，可能容易受到物理现象的影响。然后，该装置将此波转换回成电信号。可以使用输入电信号与输出电信号之间的幅度、相位、频率或时间延迟的变化来测量所期望现象的存在。SAW技术在其操作中利用压电效应。基本的SAW装置由压电衬底以及一个或多个叉指式换能器(IDT)组成。压电衬底由压电材料形成，诸如石英、钽酸锂(LiTaO3)或铌酸锂(LiNbO3)。IDT由按叉指式方式布置在压电衬底的表面上的两个金属的梳状结构制成。SAW装置通常具有两个IDT，即，输入IDT和输出IDT。通过在输入IDT两端施加交流电压来生成表面声波。输入IDT被供送正弦电输入信号，该正弦电输入信号在叉指式换能器的指之间形成交替极性。这通过压电效应在电极的指之间形成交替的拉伸和压缩应变区域，从而在表面处产生被称为表面声波的机械波。该波由输出IDT接收，输出I本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面声波(SAW)装置，其包括：具有主表面的硅衬底；由铌酸锂形成的压电衬底；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的金属氧化物层；以及所述压电衬底上的至少一个电极。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.07 US 15/2587121.一种表面声波(SAW)装置，其包括：具有主表面的硅衬底；由铌酸锂形成的压电衬底；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的金属氧化物层；以及所述压电衬底上的至少一个电极。2.根据权利要求1所述的SAW装置，其中，所述金属氧化物层由氧化铝形成。3.根据权利要求2所述的SAW装置，其中，所述至少一个电极包括至少一对叉指式换能器。4.根据权利要求1所述的SAW装置，其还包括被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电路。5.根据权利要求4所述的SAW装置，其中，所述调谐电路包括电连接到所述压电衬底的电阻器和电压源中的至少一者。6.根据权利要求5所述的SAW装置，其中，所述电阻器是可调谐电阻器。7.根据权利要求4所述的SAW装置，其中，所述调谐电路包括电压源，所述电压源被构造成向所述压电衬底施加预定电压。8.根据权利要求3所述的SAW装置，其还包括在所述压电衬底上定位在所述至少一对叉指式换能器的相对侧面上的一对反射器。9.一种制作可调谐表面声波(SAW)装置的方法，所述方法包括：在硅衬底...

【专利技术属性】
技术研发人员：A萨马劳，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE