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一种表面声波(SAW)装置(100)包括：硅衬底(108)；由铌酸锂形成的压电衬底(102)；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的氧化铝层(110)；所述压电衬底上的至少一个电极(104、106)。被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电...
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