一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法技术

本发明专利技术涉及金刚石生长的技术领域，特别是涉及一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法，其可以减少研磨失误，方便多个金刚石衬底进行同时研磨，减少耗费时间；其结构包括固定柱、多组支撑板和多组调节螺纹杆，固定柱顶部边缘区域设置有多组放置槽，并在固定柱底部边缘区域设置有多组调节孔，多组调节孔分别与多组放置槽连通，并在多组调节孔内壁上分别设置有与多组调节螺纹杆相对应的内螺纹，多组调节螺纹杆底端分别设置有多组旋转板，其制作方法包括以下步骤：（1）开槽处理；（2）车螺纹；（3）清理废屑；（4）黏贴防滑垫和缓冲垫；（5）清理浮胶；（6）螺纹杆安装；（7）绘制刻度；（8）焊接处理。

【技术实现步骤摘要】
一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法
本专利技术涉及金刚石生长的
，特别是涉及一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法。
技术介绍
众所周知，现有的金刚石生长一般采用金刚石衬底CVD方法在较低温度下进行生长，在进行CVD生长前需要对金刚石衬底进行研磨，以提高金刚石衬底表面附着性，从而可以方便金刚石在衬底表面进行生长，但是在对金刚石衬底进行研磨时，由于其厚度和体积均较小，研磨时极易出现研磨失误，并且需要单个依次研磨，耗费时间较长。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种可以减少研磨失误，方便多个金刚石衬底进行同时研磨，减少耗费时间的用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法。本专利技术的一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构，包括固定柱、多组支撑板和多组调节螺纹杆，所述固定柱顶部边缘区域设置有多组放置槽，并在固定柱底部边缘区域设置有多组调节孔，所述多组调节孔分别与多组放置槽连通，并在多组调节孔内壁上分别设置有与多组调节螺纹杆相对应的内螺纹，所述多组调节螺纹杆顶端分别螺装通过多组调节孔，并在多组调节螺纹杆底端分别设置有多组旋转板，所述多组支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构，其特征在于，包括固定柱（1）、多组支撑板（2）和多组调节螺纹杆（3），所述固定柱（1）顶部边缘区域设置有多组放置槽，并在固定柱（1）底部边缘区域设置有多组调节孔，所述多组调节孔分别与多组放置槽连通，并在多组调节孔内壁上分别设置有与多组调节螺纹杆（3）相对应的内螺纹，所述多组调节螺纹杆（3）顶端分别螺装通过多组调节孔，并在多组调节螺纹杆（3）底端分别设置有多组旋转板（4），所述多组支撑板（2）分别位于多组放置槽内，并且多组支撑板（2）分别安装在多组调节螺纹杆（3）顶端。

【技术特征摘要】
1.一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构，其特征在于，包括固定柱（1）、多组支撑板（2）和多组调节螺纹杆（3），所述固定柱（1）顶部边缘区域设置有多组放置槽，并在固定柱（1）底部边缘区域设置有多组调节孔，所述多组调节孔分别与多组放置槽连通，并在多组调节孔内壁上分别设置有与多组调节螺纹杆（3）相对应的内螺纹，所述多组调节螺纹杆（3）顶端分别螺装通过多组调节孔，并在多组调节螺纹杆（3）底端分别设置有多组旋转板（4），所述多组支撑板（2）分别位于多组放置槽内，并且多组支撑板（2）分别安装在多组调节螺纹杆（3）顶端。2.如权利要求1所述的一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构，其特征在于，还包括多组防滑垫（5），所述多组防滑垫（5）分别黏贴安装在多组放置槽内侧壁上，所述多组支撑板（2）分别与多组防滑垫（5）接触。3.如权利要求2所述的一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构，其特征在于，还包括支撑柱（6）和底板（7），所述支撑柱（6）顶端和底端分别与固定柱（1）底部和底板（7）顶部中央区域连接。4.如权利要求3所述的一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构，其特征在于，还包括连接环（8）和指示杆（9），所述连接环（8）套装在支撑柱（6）上，并在连接环（8）内壁上设置有缓冲垫（10），所述缓冲垫（10）与支撑柱（6）外壁接触，所述指示杆（9）一端与连接环（8）外壁连接。5.如权利要求4所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李升，左浩，刘宏明，
申请(专利权)人：西安碳星半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61