本实用新型专利技术公开了一种CVD设备尾气收集处理装置，包括处理箱，所述处理箱的下表面中间位置固定连接有进气管，所述进气管的一侧侧壁铰接有投放门，所述投放门的一侧侧壁固定连接有把手，所述投放门的侧壁靠近把手的一侧转动连接有卡接块，所述卡接块设置在把手的下方，所述进气管的侧壁靠近投放门的一侧纵向开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑槽的内侧壁固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的另一端与滑块固定连接，所述处理箱的内部底部位置固定连接有澄清石灰水箱和通气管。本实用新型专利技术废气收集处理的效果好，尤其是氯化氢气体和氟化氢气体，避免资源的浪费和环境的污染，过滤装置可以方便拆卸和安装，便于清理。
A Device for Collecting and Processing Exhaust Gas from CVD Equipment
【技术实现步骤摘要】
一种CVD设备尾气收集处理装置
本技术涉及CVD设备
，尤其涉及一种CVD设备尾气收集处理装置。
技术介绍
CVD是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法，这种技术最初是作为涂层的手段而开发的，但不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的
，CVD设备在工作的过程中会产生很多的废气，废气不仅会污染环境，而且会浪费资源。现有的CVD设备尾气收集处理装置，废气收集处理的效果不好，造成资源的浪费和环境的污染，过滤装置不便于安装和拆卸，不方便清理，使用不方便。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种CVD设备尾气收集处理装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种CVD设备尾气收集处理装置，包括处理箱，所述处理箱的下表面中间位置固定连接有进气管，所述进气管的一侧侧壁铰接有投放门，所述投放门的一侧侧壁固定连接有把手，所述投放门的侧壁靠近把手的一侧转动连接有卡接块，所述卡接块设置在把手的下方，所述进气管的侧壁靠近投放门的一侧纵向开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑槽的内侧壁固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的另一端与滑块固定连接，所述处理箱的内部底部位置固定连接有澄清石灰水箱和通气管，所述澄清石灰水箱设置在通气管的一侧，所述澄清石灰水箱的上表面固定连接有喷水管，所述喷水管的表面均匀固定连接有多个喷头，所述通气管的上端设置有导气管，所述导气管的表面均匀开设有多个出气口，所述多个出气口的位置与多个喷头相对应，所述导气管的侧壁通过缓冲弹簧固定连接有多个筛孔板，多个所述筛孔板的上表面均固定连接有石墨毡。优选的，所述滑块的侧壁固定连接有两个限位条，所述卡接块卡接在两个限位条之间，两个所述限位条之间固定连接有橡胶防滑垫，所述卡接块与橡胶防滑垫接触。优选的，所述进气管的外表面设置有阀门，所述进气管的内部设置有海绵块和挡板，所述海绵块设置在挡板之间，所述海绵块的位置与投放门相对应。优选的，所述澄清石灰水箱的内部设置有液泵，所述液泵的出水端固定连接有出水管，所述出水管的上端贯穿澄清石灰水箱的上表面。优选的，多个所述筛孔板远离导气管的一端连接有排放管。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术中，废气通过进气管和通气管进入到导气管中，由出气口喷出，将澄清石灰水箱中加满澄清石灰水，液泵输送至喷水管，由喷头喷洒，澄清石灰水与废气作用，之后由石墨毡和筛孔板进行过滤，产物留在石墨毡的表面，缓冲弹簧使得筛孔板晃动，加速产物滑动，由排放管排出，废气收集处理的效果好，尤其是氯化氢气体和氟化氢气体，避免资源的浪费和环境的污染。2、本技术中，将海绵块放置到进气管的内部，通过把手将投放门放下，转动卡接块，使得卡接块卡接在限位条之间，滑块在滑槽的内部滑动，压缩弹簧压缩，卡接块可以避免投放门打开，海绵块对废气进行过滤，过滤装置可以方便拆卸和安装，便于清理，使用方便。附图说明图1为本技术提出的一种CVD设备尾气收集处理装置的结构示意图；图2为本技术提出的一种CVD设备尾气收集处理装置的进气管的结构示意图；图3为本技术提出的一种CVD设备尾气收集处理装置的A处放大图。图中：1处理箱、2液泵、3出水管、4澄清石灰水箱、5喷水管、6喷头、7出气口、8导气管、9通气管、10阀门、11进气管、12把手、13投放门、14滑槽、15压缩弹簧、16限位条、17滑块、18卡接块、19缓冲弹簧、20筛孔板、21石墨毡。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-3，一种CVD设备尾气收集处理装置，包括处理箱1，处理箱1的下表面中间位置固定连接有进气管11，进气管11的一侧侧壁铰接有投放门13，投放门13的一侧侧壁固定连接有把手12，投放门13的侧壁靠近把手12的一侧转动连接有卡接块18，卡接块18设置在把手12的下方，进气管11的侧壁靠近投放门13的一侧纵向开设有滑槽14，滑槽14的内部滑动连接有滑块17，滑槽14的内侧壁固定连接有压缩弹簧15，压缩弹簧15的另一端与滑块17固定连接，处理箱1的内部底部位置固定连接有澄清石灰水箱4和通气管9，澄清石灰水箱4设置在通气管9的一侧，澄清石灰水箱4的上表面固定连接有喷水管5，喷水管5的表面均匀固定连接有多个喷头6，通气管9的上端设置有导气管8，导气管8的表面均匀开设有多个出气口7，多个出气口7的位置与多个喷头6相对应，导气管8的侧壁通过缓冲弹簧19固定连接有多个筛孔板20，多个筛孔板20的上表面均固定连接有石墨毡21。滑块17的侧壁固定连接有两个限位条16，卡接块18卡接在两个限位条16之间，两个限位条16之间固定连接有橡胶防滑垫，卡接块18与橡胶防滑垫接触，进气管11的外表面设置有阀门10，进气管11的内部设置有海绵块和挡板，海绵块设置在挡板之间，海绵块的位置与投放门13相对应，澄清石灰水箱4的内部设置有液泵2，液泵2的出水端固定连接有出水管3，出水管3的上端贯穿澄清石灰水箱4的上表面，多个筛孔板20远离导气管8的一端连接有排放管。工作原理：使用时，将海绵块放置到进气管11的内部，通过把手12将投放门13放下，转动卡接块18，使得卡接块18卡接在限位条16之间，滑块17在滑槽14的内部滑动，压缩弹簧15压缩，卡接块18可以避免投放门13打开，海绵块对废气进行过滤，过滤装置可以方便拆卸和安装，便于清理，废气通过进气管11和通气管9进入到导气管8中，由出气口7喷出，将澄清石灰水箱4中加满澄清石灰水，液泵2输送至喷水管5，由喷头6喷洒，澄清石灰水与废气作用，之后由石墨毡21和筛孔板20进行过滤，产物留在石墨毡21的表面，缓冲弹簧19使得筛孔板20晃动，加速产物滑动，由排放管排出，废气收集处理的效果好，尤其是氯化氢气体和氟化氢气体，避免资源的浪费和环境的污染。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种CVD设备尾气收集处理装置，包括处理箱(1)，其特征在于，所述处理箱(1)的下表面中间位置固定连接有进气管(11)，所述进气管(11)的一侧侧壁铰接有投放门(13)，所述投放门(13)的一侧侧壁固定连接有把手(12)，所述投放门(13)的侧壁靠近把手(12)的一侧转动连接有卡接块(18)，所述卡接块(18)设置在把手(12)的下方，所述进气管(11)的侧壁靠近投放门(13)的一侧纵向开设有滑槽(14)，所述滑槽(14)的内部滑动连接有滑块(17)，所述滑槽(14)的内侧壁固定连接有压缩弹簧(15)，所述压缩弹簧(15)的另一端与滑块(17)固定连接，所述处理箱(1)的内部底部位置固定连接有澄清石灰水箱(4)和通气管(9)，所述澄清石灰水箱(4)设置在通气管(9)的一侧，所述澄清石灰水箱(4)的上表面固定连接有喷水管(5)，所述喷水管(5)的表面均匀固定连接有多个喷头(6)，所述通气管(9)的上端设置有导气管(8)，所述导气管(8)的表面均匀开设有多个出气口(7)，所述多个出气口(7)的位置与多个喷头(6)相对应，所述导气管(8)的侧壁通过缓冲弹簧(19)固定连接有多个筛孔板(20)，多个所述筛孔板(20)的上表面均固定连接有石墨毡(21)。...
【技术特征摘要】
1.一种CVD设备尾气收集处理装置，包括处理箱(1)，其特征在于，所述处理箱(1)的下表面中间位置固定连接有进气管(11)，所述进气管(11)的一侧侧壁铰接有投放门(13)，所述投放门(13)的一侧侧壁固定连接有把手(12)，所述投放门(13)的侧壁靠近把手(12)的一侧转动连接有卡接块(18)，所述卡接块(18)设置在把手(12)的下方，所述进气管(11)的侧壁靠近投放门(13)的一侧纵向开设有滑槽(14)，所述滑槽(14)的内部滑动连接有滑块(17)，所述滑槽(14)的内侧壁固定连接有压缩弹簧(15)，所述压缩弹簧(15)的另一端与滑块(17)固定连接，所述处理箱(1)的内部底部位置固定连接有澄清石灰水箱(4)和通气管(9)，所述澄清石灰水箱(4)设置在通气管(9)的一侧，所述澄清石灰水箱(4)的上表面固定连接有喷水管(5)，所述喷水管(5)的表面均匀固定连接有多个喷头(6)，所述通气管(9)的上端设置有导气管(8)，所述导气管(8)的表面均匀开设有多个出气口(7)，所述多个出气口(7)的位置与多个喷头(6)相对应，所述导...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘宏明，左浩，
申请(专利权)人：西安碳星半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。