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本发明涉及金刚石生长的技术领域，特别是涉及一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法，其可以减少研磨失误，方便多个金刚石衬底进行同时研磨，减少耗费时间；其结构包括固定柱、多组支撑板和多组调节螺纹杆，固定柱顶部边缘区域设置有多组放置槽...
该专利属于西安碳星半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安碳星半导体科技有限公司授权不得商用。

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