一种镀膜装置和镀膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及太阳能电池领域，具体涉及一种镀膜装置和镀膜方法。本发明专利技术提供的镀膜装置，包括镀膜腔室和基板，所述镀膜腔室包括：至少两个加热区；所述基板依序通过所述至少两个加热区；其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；所述高温加热区的镀膜温度高于所述基板的玻璃化转变温度；所述低温加热区的镀膜温度低于所述基板的玻璃化转变温度。本发明专利技术所提供的镀膜装置，解决了铜铟镓硒薄膜受限于浮法玻璃玻璃化转变温度的限制，铜铟镓硒薄膜结晶性不佳的问题，实现了非均匀加热，提高了铜铟镓硒薄膜的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜装置和镀膜方法
本专利技术涉及太阳能电池领域，具体涉及一种镀膜装置和镀膜方法。
技术介绍
铜铟镓硒薄膜太阳能电池由于其具有光电转换效率高，弱光性能好和温度系数低等优良性能，得到了广泛关注和研究，并已初步实现了产业化，是最具有潜力的薄膜太阳能电池之一。铜铟镓硒作为电池的核心吸收层，其制备工艺是得到高性能铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件的最核心技术。目前铜铟镓硒薄膜太阳能电池的基底主要有不锈钢、聚酰亚胺薄膜和浮法玻璃等，其中浮法玻璃由于其低廉的价格和玻璃光伏组件的普适性，成为了目前大规模产业化生产和应用的铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件最主要的基板材料。共蒸发方法是制备高质量铜铟镓硒吸收层的主流方法之一。生产线利用共蒸发方法制备铜铟镓硒的主要过程是：镀有金属钼层的浮法玻璃通过自动线或者传输轮传动，由外部(可以是其它工艺腔室)传输至铜铟镓硒镀膜设备，铜铟镓硒镀膜设备是一个高真空、高温设备，设备由多个腔室构成。浮法玻璃基板首先传输通过一些非镀膜腔室，逐渐加热基板至镀膜温度，然后基板被传输至镀膜腔室。镀膜腔室中，铜、铟、镓、硒四种物质利用电阻加热至熔化并持续产生蒸发。基片流经镀膜腔室时，蒸发出来的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜装置，包括镀膜腔室和基板，其特征在于，所述镀膜腔室包括：至少两个加热区；所述基板依序通过所述至少两个加热区；其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；所述高温加热区的镀膜温度高于所述基板的玻璃化转变温度；所述低温加热区的镀膜温度低于所述基板的玻璃化转变温度。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置，包括镀膜腔室和基板，其特征在于，所述镀膜腔室包括：至少两个加热区；所述基板依序通过所述至少两个加热区；其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；所述高温加热区的镀膜温度高于所述基板的玻璃化转变温度；所述低温加热区的镀膜温度低于所述基板的玻璃化转变温度。2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述低温加热区至少两个，且所述高温加热区设置于至少两个所述低温加热区之间。3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高温加热区包括：第一高温加热区和第二高温加热区，所述第一高温加热区的镀膜温度高于所述第二高温加热区的镀膜温度。4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高温加热区的长度小于所述低温加热区的长度。5.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高温加热区与所述低温加热区之间安装有隔热...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵树利，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11