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本发明涉及太阳能电池领域，具体涉及一种镀膜装置和镀膜方法。本发明提供的镀膜装置，包括镀膜腔室和基板，所述镀膜腔室包括：至少两个加热区；所述基板依序通过所述至少两个加热区；其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；所述高温...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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