一种异形铝材真空镀膜固定架制造技术

本实用新型专利技术提供一种异形铝材真空镀膜固定架，包括底座，密封胶圈，铝材旋转机构，升降机构，坩埚，基片，真空罩，安装板，支架，抽真空泵和电控柜，所述密封胶圈结构胶粘贴在底座上；所述铝材旋转机构设置在密封胶圈内部；所述升降机构通过螺栓安装在底座的右侧；所述坩埚设置在真空罩内部，并通过焊接固定。本实用新型专利技术铝材旋转机构的设置，能够在异型铝材进行镀膜的时候实现360°旋转，升降机构的设置，带动真空罩实现开启闭合的作用，提高了设备的机械化程度，新型的坩埚的设置，通过往坩埚中添加蒸发物质，并用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质，使其具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜。

【技术实现步骤摘要】
一种异形铝材真空镀膜固定架
本技术属于机械
，尤其涉及一种异形铝材真空镀膜固定架。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。中国专利公开号为CN207091504U，专利技术创造的名称为一种新型铝材真空镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室上表面固定安装有储气罐和真空仪器表，所述镀膜室内部设置有吸音器，且其一侧固定连接有真空泵，所述真空泵内部固定安装有减震器，所述镀膜室另一侧设置有控制门和控制箱，所述控制门上端固定安装有高阀，所述控制箱上端设置有低阀，所述控制箱上表面固定安装有总电源开关，所述镀膜室下端固定安装有连接杆，所述连接杆下端设置有滚轮，所述连接板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种异形铝材真空镀膜固定架，其特征在于：包括底座（1），密封胶圈（2），铝材旋转机构（3），升降机构（4），坩埚（5），基片（6），真空罩（7），安装板（8），支架（9），抽真空泵（10）和电控柜（11），所述密封胶圈（2）粘贴在底座（1）上；所述铝材旋转机构（3）设置在密封胶圈（2）内部；所述升降机构（4）的数量为2个，通过螺栓安装在底座（1）上，并分别与2个支架（9）连接，其中一个升降机构（4）带有升降电机（41）并与升降电机（41）传动连接；所述坩埚（5）设置在真空罩（7）内部，并通过焊接固定；所述基片（6）粘贴在安装板（8）的底部；所述安装板（8）通过焊接安装在真空罩（7）的顶部；...

【技术特征摘要】
1.一种异形铝材真空镀膜固定架，其特征在于：包括底座（1），密封胶圈（2），铝材旋转机构（3），升降机构（4），坩埚（5），基片（6），真空罩（7），安装板（8），支架（9），抽真空泵（10）和电控柜（11），所述密封胶圈（2）粘贴在底座（1）上；所述铝材旋转机构（3）设置在密封胶圈（2）内部；所述升降机构（4）的数量为2个，通过螺栓安装在底座（1）上，并分别与2个支架（9）连接，其中一个升降机构（4）带有升降电机（41）并与升降电机（41）传动连接；所述坩埚（5）设置在真空罩（7）内部，并通过焊接固定；所述基片（6）粘贴在安装板（8）的底部；所述安装板（8）通过焊接安装在真空罩（7）的顶部；所述真空罩（7）安装到升降机构（4）上，由升降机构（4）带动上升和下降，当下降到底部时能与密封胶圈（2）配合形成密封空间；所述支架（9）采用2个，通过螺栓安装在底座（1）的左端上部和右端上部；所述抽真空泵（10）设置在密封胶圈（2）的左侧，并通过导线与电控柜（11）连接；所述电控柜（11）设置在底座（1）的左上部。2.如权利要求1所述的异形铝材真空镀膜固定架，其特征在于：所述铝材旋转机构（3）包括活动架（31），固定架（32），第一轴承（33），凸头卡块（34），旋转电机（35），电机座（36），滑槽（37）和联轴器（38），所述活动架（31）通过滑槽（37）与底座（1）滑动连接；所述固定架（32）设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王湛全，
申请(专利权)人：佛山市三水奥金帆金属制品有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44