本实用新型专利技术提供一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，本实用新型专利技术可以在加料的同时进行预热，提高加热均匀度，防止飞溅，而且，将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质。
【技术实现步骤摘要】
一种全自动镀膜设备
本技术涉及蒸发镀膜装置
，具体为一种全自动镀膜设备。
技术介绍
镀膜技术广泛应用于各种工件上，镀膜不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化，而且使工件表面光滑，装饰性强；在薄膜制备过程中，需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发汽化，在真空镀膜工艺中，加热装置是一种重要的蒸发设备。加热装置使其中的物质蒸发，蒸发物质的原子或分子就会以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。但是，在镀膜过程中，容易出现镀膜层不均匀，镀膜质量不高等缺点。而且，目前镀膜设备的舟内材料在加热过程中加热不均匀，有时会溅出到加热装置外，而且气化效率较低。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种全自动镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件固定支架上设有柔性垫块，镀件放置在柔性垫块上，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，所述升降气缸的输出端通过放置板安装座安装在镀件放置板上，所述升降气缸的缸体通过升降气缸固定座安装在蒸镀釜底部。所述加热盘一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置、调节气缸，所述加热盘一侧安装在调节气缸的输出端上，滑动调节装置安装在加热盘下侧，所述滑动调节装置安装在调节装置支架上，所述调节气缸通过调节气缸安装座安装在调节装置支架上，所述蒸发坩埚上端设有坩埚盖，所述坩埚盖上端设有蒸镀输送管，所述预热坩埚上端设有加料斗，加料斗的加料口上设有密封盖板。所述预热坩埚与蒸发坩埚之间设有过度段，预热坩埚倾斜设置，预热坩埚的倾斜角度为10-40°，所述加热盘的三分之二在蒸发坩埚下侧，加热盘的三分之一在预热坩埚下侧。所述蒸镀釜封头一侧通过固定轴安装在蒸镀釜上、另一侧通过固定卡扣安装在蒸镀釜上，所述固定卡扣上设有密封锁紧手柄。所述镀膜喷管装置包括蒸镀源分配管，蒸镀源分配管通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述蒸镀源分配管上设有若干喷头接头，所述喷头接头上设有喷头，所述喷头通过连接软管安装在喷头接头上。所述喷头尾端通过旋转销安装在固定板上，喷头在固定板上等距均匀设置，固定板安装在蒸镀釜封头上，所述喷头头端通过旋转销安装在角度调节板上，所述角度调节板一端设有伸缩气缸。所述加热板调节座包括固定横杆、固定立杆，固定横杆、固定立杆外端设有加热板固定板，辅助加热板安装在加热板固定板上，所述固定横杆、固定立杆安装在旋转支撑座上，旋转支撑座两端设有倾斜调整杆，所述旋转支撑座活动安装在支撑安装座内，支撑安装座下端固定在加热装置安装座上，所述倾斜调整杆上设有角度调节气缸。所述角度调节气缸的输出端通过固定销安装在倾斜调整杆上，角度调节气缸的缸体通过固定销安装在缸体固定座上，缸体固定座安装在加热装置安装座上，加热装置安装座安装在蒸镀装置内，所述固定横杆、固定立杆垂直设置，支撑安装座为C型结构，旋转支撑座卡设在支撑安装座内。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术可以在加料的同时进行预热，提高加热均匀度，防止飞溅，而且，将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的蒸镀源发生器结构示意图。图3为本技术的蒸镀装置结构示意图。图4为本技术的镀膜喷管装置结构示意图。图5为本技术的加热板调节座结构示意图。具体实施方式为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。如图1～5所示，一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置200，所述蒸镀装置200一侧设有蒸镀源发生器100，所述蒸镀装置200内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板400，所述辅助加热板400通过加热板调节座300安装在蒸镀装置200内，所述蒸镀源发生器100包括蒸发坩埚101，所述蒸发坩埚101一侧设有预热坩埚102，所述蒸发坩埚101下端设有加热盘104，所述加热盘104上设有若干加热头103，所述加热盘104下端安装在加热盘固定座105上，所述蒸镀装置200包括蒸镀釜201，所述蒸镀釜201上端设有蒸镀釜封头203，所述蒸镀釜封头203内设有镀膜喷管装置202，所述镀膜喷管装置202通过喷管装置固定支架204安装在蒸镀釜封头203内，所述镀膜喷管装置202连接于蒸镀源输送管208上，所述蒸镀釜封头203上设有抽真空管205，所述抽真空管205上设有抽真空泵206，所述抽真空泵206安装在真空泵固定座207上，所述蒸镀釜201内设有镀件放置板213，所述镀件放置板213上设有镀件固定支架214，所述镀件固定支架214上设有柔性垫块215，镀件212放置在柔性垫块215上，所述镀件放置板213下端安装在升降气缸217上，所述升降气缸217的输出端通过放置板安装座216安装在镀件放置板213上，所述升降气缸217的缸体通过升降气缸固定座218安装在蒸镀釜201底部。所述加热盘104一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置106、调节气缸109，所述加热盘4一侧安装在调节气缸109的输出端上，滑动调节装置106安装在加热盘104下侧，所述滑动调节装置106安装在调节装置支架107上，所述调节气缸109通过调节气缸安装座108安装在调节装置支架107上，所述蒸发坩埚101上端设有坩埚盖110，所述坩埚盖110上端设有蒸镀输送管111，所述预热坩埚102上端设有加料斗112，加料斗112的加料口上设有密封盖板113。所述预热坩埚102与蒸发坩埚101之间设有过度段，预热坩埚102倾斜设置，预热坩埚102的倾斜角度为10-40°，所述加热盘104的三分之二在蒸发坩埚101下侧，加热盘104的三分之一在预热坩埚102下侧。所述蒸镀釜封头203一侧通过固定轴210安装在蒸镀釜201上、另一侧通过固定卡扣209安装在蒸镀釜1上，所述固定卡扣209上设有密封锁紧手柄211。所述镀膜喷管装置202包括蒸镀源分配管21，蒸镀源分配管21通过喷管装置固定支架204安装在蒸镀釜封头203内，所述蒸镀源分配管21上设有若干喷头接头22，所述喷头接头22上设有喷头24，所述喷头24通过连接软管23安装在喷头接头22上。所述喷头24尾端通过旋转销27安装在固定板25上，喷头24在固定板25上等距均匀设本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件固定支架上设有柔性垫块，镀件放置在柔性垫块上，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，所述升降气缸的输出端通过放置板安装座安装在镀件放置板上，所述升降气缸的缸体通过升降气缸固定座安装在蒸镀釜底部。
【技术特征摘要】
1.一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件固定支架上设有柔性垫块，镀件放置在柔性垫块上，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，所述升降气缸的输出端通过放置板安装座安装在镀件放置板上，所述升降气缸的缸体通过升降气缸固定座安装在蒸镀釜底部。2.根据权利要求1所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述加热盘一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置、调节气缸，所述加热盘一侧安装在调节气缸的输出端上，滑动调节装置安装在加热盘下侧，所述滑动调节装置安装在调节装置支架上，所述调节气缸通过调节气缸安装座安装在调节装置支架上，所述蒸发坩埚上端设有坩埚盖，所述坩埚盖上端设有蒸镀输送管，所述预热坩埚上端设有加料斗，加料斗的加料口上设有密封盖板。3.根据权利要求1所述的一种全自动镀膜设备，其特征在于：所述预热坩埚与蒸发坩埚之间设有过度段，预...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈道理，
申请(专利权)人：盱眙新远光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。